[發明專利]一種PMMA膜制備方法及PMMA膜電阻式柔性壓力傳感器

在審

• 申請號: 201610044359.8
• 申請日: 2016-01-22
• 公開（公告）號: CN105698978A
• 公開（公告）日: 2016-06-22
• 發明（設計）人: 魏雄邦;肖倫;全勇;陳志;龐韓英;吳天昊
• 申請（專利權）人: 電子科技大學
• 主分類號: G01L1/18
• 分類號: G01L1/18
• 代理公司: 電子科技大學專利中心 51203
• 代理人: 張楊

1.一種PMMA膜電制備方法，該方法包括：

步驟1：PMMA的清洗方法；

將PMMA顆粒使用洗潔精和去離子水清洗后氮氣吹干；再將吹干的PMMA顆粒使用無水乙醇浸泡后，使用超聲機超聲清洗，然后使用N₂氣吹干待用；將上述PMMA顆粒再用去離子水浸泡，使用超聲清洗機超聲清洗，清洗完后使用N₂氣吹干待用；

步驟2：對旋涂需要的基板做預處理；

步驟3：將適量干燥的PMMA顆粒放入CHCl₃、CCl₄或TFH溶劑中，攪拌至PMMA顆粒完全溶解于溶劑中；

步驟4：將基板放置在旋涂機上，將旋涂機轉速設定在300rpm～400rpm；將足量的PMMA的溶液滴在基板上，至PMMA溶液均勻平鋪于基板上；旋涂成功后，將覆有PMMA薄膜的基板放置在高溫烘箱中，將烘箱溫度設置在50℃～80℃通風熱烘至薄膜凝固成型，最后剝離薄膜。

2.如權利要1所述的一種PMMA膜電制備方法，其特征在于所述步驟2中采用的基板為玻璃基板，玻璃基板的預處理方法為：

將玻璃基板先使用洗潔精清洗去除表面污漬，再用清水清洗后使用N₂氣吹干；再將玻璃基板浸泡在丙酮溶劑中超聲清洗，洗凈取出后用清水沖洗，N₂氣吹干；再使用無水乙醇超聲清洗，洗凈取出后清水沖洗，N₂氣吹干備用。

3.如權利要1所述的一種PMMA膜電制備方法，其特征在于所述步驟2中采用的基板為鋁板基板，鋁板基板的預處理方法為：

Al板先使用去離子水超聲清洗，再使用丙酮超聲清洗，再使用去離子水超聲清洗；

將BTSE溶于體積比為3：1的乙醇和水的混合溶液中，BTSE為“1,2-雙(三乙氧基硅基)乙烷”，制備成硅烷化試劑，然后將上述硅烷化試劑放在35℃～50℃恒溫槽中水解；待硅烷化試劑水解后，將干燥的Al板放入上述硅烷化試劑中1min～5min，取出放入溫度設定50℃～80℃的烘箱干燥固化。

4.一種PMMA膜電阻式柔性壓力傳感器，該傳感器包括：上電極、上電極襯底、下電極、下電極襯底、封裝結構，上電極位于上電極襯底下表面，下電極位于下電極襯底的上表面，上電極與下電極之間留有空腔，所述上、下電極包括：導電薄膜、設置于導電薄膜上的銀電極，與銀電極相連的銅導線，下電極襯底為PDMS薄膜，其特征在于上電極襯底為PMMA薄膜。