[發(fā)明專利]一種實(shí)時(shí)檢測(cè)潔凈設(shè)備內(nèi)顆粒含量的系統(tǒng)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610044105.6
• 申請(qǐng)日: 2016-01-22
• 公開（公告）號(hào): CN105466827A
• 公開（公告）日: 2016-04-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 錢灣灣
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G01N15/06
• 分類號(hào): G01N15/06
• 代理公司: 深圳市威世博知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44280
• 代理人: 陳雪梅

1.一種實(shí)時(shí)檢測(cè)潔凈設(shè)備內(nèi)顆粒含量的系統(tǒng)，其特征在于，包括：

潔凈設(shè)備；

取樣件，其設(shè)置在所述潔凈設(shè)備的內(nèi)部，用于采集所述潔凈設(shè)備內(nèi)的氣體樣品；

測(cè)量?jī)x，其設(shè)置在所述潔凈設(shè)備的外部，用于對(duì)所述取樣件采集的所述氣體樣品進(jìn)行檢測(cè)，以得知所述潔凈設(shè)備內(nèi)的顆粒含量；

導(dǎo)管，其一端連接所述取樣件，另一端連接所述測(cè)量?jī)x，用于將所述取樣件采集的所述氣體樣品導(dǎo)出至所述測(cè)量?jī)x內(nèi)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述潔凈設(shè)備設(shè)置有第一開孔，所述導(dǎo)管貫穿所述第一開孔，以連接所述潔凈設(shè)備內(nèi)部的所述取樣件和所述潔凈設(shè)備外部的所述測(cè)量?jī)x。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述第一開孔進(jìn)一步配備有第一孔塞，所述導(dǎo)管包括：

第一部分導(dǎo)管，其一端連接所述取樣件，另一端連接所述第一開孔的一端，以將所述取樣件采集的所述氣體樣品導(dǎo)出所述潔凈設(shè)備；

第二部分導(dǎo)管，其一端連接所述第一開孔的另一端，另一端連接所述測(cè)量?jī)x，以將所述第一部分導(dǎo)管導(dǎo)出的所述氣體樣品導(dǎo)入所述測(cè)量?jī)x內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，

所述測(cè)量?jī)x設(shè)置有第二開孔，所述導(dǎo)管通過所述第二開孔將所述取樣件采集的所述氣體樣品導(dǎo)出至所述測(cè)量?jī)x內(nèi)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的系統(tǒng)，其特征在于，

所述導(dǎo)管連接至所述測(cè)量?jī)x的一端設(shè)置有第二孔塞，所述導(dǎo)管通過所述第二孔塞塞入所述第二開孔內(nèi)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，

所述系統(tǒng)進(jìn)一步包括：

閥門，其設(shè)置在所述導(dǎo)管上，用于控制所述氣體樣品的流向?yàn)閱蜗颍允沟盟鰵怏w樣品從所述潔凈設(shè)備內(nèi)部流向所述潔凈設(shè)備外部的所述測(cè)量?jī)x。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)，其特征在于，

所述閥門設(shè)置在所述導(dǎo)管與所述取樣件連接的位置。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，

所述取樣件設(shè)置的高度與所述潔凈設(shè)備的軋制線高度一致。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，

所述取樣件的數(shù)量為偶數(shù)，且所述取樣件間隔設(shè)置在所述潔凈設(shè)備內(nèi)。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其特征在于，

所述取樣件的數(shù)量為四個(gè)。