[發(fā)明專利]壓電泵

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610042961.8
• 申請日: 2016-01-22
• 公開（公告）號: CN105508208B
• 公開（公告）日: 2018-04-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 余懷強;王騰;張建剛;桂進樂;劉光聰;蔣創(chuàng)新;鄧立科;湯勁松
• 申請（專利權(quán)）人: 中國電子科技集團公司第二十六研究所
• 主分類號: F04B43/04
• 分類號: F04B43/04;F04B53/16;F04B53/10;B32B15/06;B32B15/08
• 代理公司: 重慶博凱知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司50212
• 代理人: 李海華

1.壓電泵，包括泵體、進液閥片、排液閥片、壓電振子、出口管和入口管，其特征在于：所述泵體是一體化結(jié)構(gòu)，泵體上表面設(shè)有中心沉腔，下表面設(shè)有入流沉腔和出流沉腔，中心沉腔底部與入流沉腔相對的位置設(shè)有進液閥片安裝沉槽，入流沉腔和進液閥片安裝沉槽通過進液孔連通，中心沉腔和出流沉腔之間通過排液孔連通；進液閥片安裝在進液閥片安裝沉槽內(nèi)并將進液孔封蓋，排液閥片安裝在出流沉腔底部并將排液孔封蓋；壓電振子安裝在泵體上表面并將中心沉腔封蓋；在泵體下表面分別安裝有入流沉腔端蓋和出流沉腔端蓋，以各自將入流沉腔和出流沉腔封蓋；

在泵體側(cè)面設(shè)有進液通道和排液通道，進液通道與入流沉腔連通，排液通道和出流沉腔連通，所述入口管安裝在進液通道進口端，出口管安裝在排液通道出口端；

所述進液閥片和排液閥片均為由金屬薄層和聚合物薄膜層構(gòu)成的雙層結(jié)構(gòu)，其中聚合物薄膜層朝向進液孔/排液孔；

所述進液閥片和排液閥片的金屬薄層和聚合物薄膜層均為環(huán)片帶懸臂梁結(jié)構(gòu)，懸臂梁一端與對應(yīng)環(huán)片一體成型，懸臂梁另一端作為自由端將進液孔/排液孔封蓋。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電泵，其特征在于：所述泵體采用金屬材質(zhì)加工而成。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓電泵，其特征在于：所述壓電振子從下往上依次由金屬基片、壓電陶瓷片、金屬電極層和電極引線構(gòu)成；所述電極引線布設(shè)于金屬電極層上，用于連接外部交流電源輸出電壓信號，所述外部交流電源輸出地與所述泵體相連接；所述金屬基片與泵體的上表面通過粘接或焊接固定以封閉住所述中心沉腔。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電泵，其特征在于：所述進液閥片安裝沉槽的下沉深度大于或等于進液閥片厚度。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電泵，其特征在于：所述進液閥片和排液閥片的聚合物薄膜層采用橡膠或硅膠材料。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電泵，其特征在于：所述泵體下表面在安裝入流沉腔端蓋和出流沉腔端蓋的位置分別設(shè)有沉臺，入流沉腔端蓋和出流沉腔端蓋分別安裝在沉臺內(nèi)。