[發明專利]一種用于電致變色玻璃的透明導電玻璃及其制備方法

在審

• 申請號: 201610042357.5
• 申請日: 2016-01-21
• 公開（公告）號: CN105601125A
• 公開（公告）日: 2016-05-25
• 發明（設計）人: 周學武;丁洪光;王小峰
• 申請（專利權）人: 內蒙古坤瑞玻璃股份有限公司
• 主分類號: C03C17/34
• 分類號: C03C17/34
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于電致變色玻璃的透明導電玻璃，其特征在于，其依 次包括：玻璃基層、保護膜、增透膜和透明導電膜，所述玻璃基層一 側表面利用真空磁控濺射技術鍍有所述保護膜，所述保護膜表面利用 真空磁控濺射技術鍍有所述增透膜，所述增透膜表面利用真空磁控濺 射技術鍍有所述透明導電膜。

2.根據權利要求1所述的一種用于電致變色玻璃的透明導電玻 璃，其特征在于，所述透明導電膜為摻有稀土材料的AZO透明導電 膜；所述AZO為摻鋁氧化鋅，其中，氧化鋅與鋁的質量比為90:10； 所述稀土材料為釔、鑭、釤、鈰、釓、釹、鉺、鈧中的任意一種；所 述稀土材料的添加比例為所述AZO與所述稀土材料混合后總質量的 0.01％～5％，優選為0.3～2％；所述透明導電膜厚度為50～500nm。

3.根據權利要求1所述的一種用于電致變色玻璃的透明導電玻 璃，其特征在于，所述增透膜是氧化鈦增透膜、氧化鈮增透膜、氧化 鋯增透膜、氧化硅增透膜或氧化鈦、氧化鈮、氧化鋯、氧化硅中的兩 種或兩種以上混合材料增透膜中的任意一種，所述增透膜厚度為 1～85nm。

4.根據權利要求1所述的一種用于電致變色玻璃的透明導電玻 璃，其特征在于，所述保護膜是氧化鈦保護膜、氧化硅保護膜、氮化 硅保護膜、氮化鈦保護膜或氧化鈦、氧化硅、氮化硅、氮化鈦中的兩 種或兩種以上混合材料保護膜中的任意一種，所述保護膜厚度為 5～50nm。

5.根據權利要求1所述的一種用于電致變色玻璃的透明導電玻 璃，其特征在于，所述玻璃基層為普通浮法玻璃、超白浮法玻璃、著 色玻璃中的任意一種，所述玻璃基層的厚度為2～15mm；所述玻璃基 層優選為4～8mm的超白浮法玻璃。

6.一種用于電致變色玻璃的透明導電玻璃制備方法，其特征在 于，其包括如下步驟：(1)制備導電膜材料靶；(2)清洗玻璃基層； (3)保護膜濺射；(4)增透膜濺射；(5)透明導電膜濺射；(6)退 火處理得到成品透明導電玻璃；其中，

(1)制備導電膜材料靶：將稀土材料與AZO粉末按比例混合均 勻，投入模具后，經冷等靜壓工藝壓制成靶材坯體，然后燒結形成導 電膜材料靶；

(2)清洗玻璃基層：玻璃基層經純凈水清洗烘干后送入真空鍍 膜室；

(3)保護膜濺射：采用保護膜材料靶向所述玻璃基層一側表面 中頻反應濺射保護膜，設定功率50～120KW，氬氣和氮氣混合氣氛濺 射，氣壓4.5～5.5×10^-4mbar；

(4)增透膜濺射：采用增透膜材料靶向所述保護膜表面中頻反 應濺射增透膜，設定功率20～50KW，氬氣和氧氣混合氣氛濺射，氣 壓為4.5～5.5×10^-4mbar；

(5)透明導電膜濺射：采用所述步驟(1)制備的所述導電膜材 料靶向所述增透膜表面中頻反應濺射透明導電膜，所述透明導電膜厚 度為50～500nm，設定功率30～60KW，氬氣和氧氣混合氣氛濺射，氣 壓4.5～5.5×10^-4mbar，得到透明導電玻璃半成品；

(6)退火處理得到成品透明導電玻璃：將所述透明導電玻璃半 成品放入真空退火爐內，進行真空退火，得到成品透明導電玻璃。

7.根據權利要求6所述的一種用于電致變色玻璃的透明導電玻 璃制備方法，其特征在于，所述AZO為摻鋁氧化鋅，其中，氧化鋅 與鋁的質量比為90:10；所述稀土材料為釔、鑭、釤、鈰、釓、釹、 鉺、鈧中的任意一種；所述稀土材料的添加比例為所述AZO與所述 稀土材料混合后總質量的0.01％～5％，優選為0.3～2％。

8.根據權利要求6所述的一種用于電致變色玻璃的透明導電玻 璃制備方法，其特征在于，所述保護膜材料靶是氧化鈦靶材、氧化硅 靶材、氮化硅靶材、氮化鈦靶材或氧化鈦、氧化硅、氮化硅、氮化鈦 中的兩種或兩種以上混合材料靶材中的任意一種，所述保護膜厚度為 5～50nm。