[發明專利]一種鈉離子電池用負極材料硅銻合金薄膜及其制備方法有效
| 申請號： | 201610042224.8 | 申請日： | 2016-01-22 |
| 公開（公告）號： | CN105680028B | 公開（公告）日： | 2019-07-05 |
| 發明（設計）人： | 潘洋;周永寧 | 申請（專利權）人： | 復旦大學 |
| 主分類號： | H01M4/38 | 分類號： | H01M4/38;H01M10/054 |
| 代理公司： | 上海正旦專利代理有限公司 31200 | 代理人： | 陸飛;盛志范 |
| 地址： | 200433 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 鈉離子 電池 負極 材料 合金 薄膜 及其 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種鈉離子電池用負極材料，其特征在于為硅銻合金SixSb(1-x)納米薄膜，0.5≤X≤0.95，薄膜的厚度為40-80nm，質量為0.02-0.04mg；
所述的鈉離子電池用的負極材料由以下步驟制備：用半導體Si和金屬Sb按比例混合制作靶材，采用脈沖激光沉積得到SiSb合金薄膜；其中，脈沖激光波長為300-400nm，重復頻率為10-20Hz，脈沖寬度為5-10ns；脈沖激光和靶材表面所形成的入射角為30-45°，聚焦鏡焦距為30-50cm，襯底與靶材的距離為3-5cm；激光能量密度為2-4J/cm2；沉積時襯底溫度為100-150℃，沉積室真空度為5×10-5Pa -7×10-5Pa，沉積時間為30-60min。
2.一種如權利要求1所述的鈉離子電池用的負極材料的制備方法，其特征在于具體步驟為：用半導體Si和金屬Sb按比例混合制作靶材，采用脈沖激光沉積得到SiSb合金薄膜；其中，脈沖激光波長為300-400nm，重復頻率為10-20Hz，脈沖寬度為5-10ns；脈沖激光和靶材表面所形成的入射角為30-45°，聚焦鏡焦距為30-50cm，襯底與靶材的距離為3-5cm；激光能量密度為2-4J/cm2；沉積時襯底溫度為100-150℃，沉積室真空度為5×10-5Pa -7×10-5Pa，沉積時間為30-60min。
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