[發明專利]用于形成浸液膜的設備和方法在審
| 申請號： | 201610041475.4 | 申請日： | 2016-01-21 |
| 公開（公告）號： | CN105807416A | 公開（公告）日： | 2016-07-27 |
| 發明（設計）人： | H·赫爾曼;R·維斯徹內夫斯基 | 申請（專利權）人： | 卡爾蔡司顯微鏡有限責任公司 |
| 主分類號： | G02B21/33 | 分類號： | G02B21/33;G02B21/24;G02B27/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律師事務所 11247 | 代理人： | 劉丹;吳鵬 |
| 地址： | 德國*** | 國省代碼： | 德國;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 形成 浸液 設備 方法 | ||
【權利要求書】：
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