[發明專利]一種DPC工藝用鏡面氮化鋁陶瓷基板的高活性預處理方法

有效

• 申請號: 201610040986.4
• 申請日: 2016-01-21
• 公開（公告）號: CN105679684B
• 公開（公告）日: 2018-10-09
• 發明（設計）人: 余正剛;鄒冠生;單春光;余會;馮華忠;余正偉
• 申請（專利權）人: 中山市瑞寶電子科技有限公司
• 主分類號: H01L21/48
• 分類號: H01L21/48;H01L21/02
• 代理公司: 中山市銘洋專利商標事務所(普通合伙) 44286
• 代理人: 鄒常友

1.一種DPC工藝用鏡面氮化鋁陶瓷基板的高活性預處理方法，其特征在于:它包括以下步驟：

步驟一；活化溶液的配制；活化溶液由催化劑、緩釋劑、活性鹽和添加劑混合而成，其中催化劑包括雙氧水、過硫酸鈉的任一種或二者混合，催化劑包括雙氧水、過硫酸鈉的任一種或二者混合，緩釋劑由乙二醇、甘油的任一種或二者混合，活性鹽由硝酸鈉、氟化銨和硝酸錳混合而成，添加劑為草酸、EDTA的任一種或二者混合，將選取的試劑按比例溶于去離子水中，30℃條件下攪拌，攪拌速度為200～2000轉/分鐘，30min～180min后過濾制得活化溶液；

步驟二；鏡面氮化鋁基板除油清洗；將鏡面氮化鋁基板浸入除油溶液中，用超聲清洗工藝清洗，去除鏡面氮化鋁基板表面的污垢，用去離子水沖凈其表面；

步驟三；鏡面氮化鋁基板除蠟清洗；將鏡面氮化鋁基板置于除蠟水中，超聲工藝清洗，除去鏡面氮化鋁基板表面因拋光殘留的蠟狀拋光膏，用去離子水沖凈其表面；

步驟四；鏡面氮化鋁基板表面活化反應；將除油處理過的鏡面氮化鋁基板浸泡于活化溶液中，并輔以超聲工藝，在催化劑的作用下，鏡面氮化鋁表面的Al元素和N元素發生化學反應，形成AlNM化學鍵(M＝H、Na、NH₄、Mn)和OAlF化學鍵，使其表面形成高浸潤、高活性的膜層；

步驟五；鏡面氮化鋁基板的熱處理；將已經形成高活性層的鏡面氮化鋁基板的表面用去離子水沖凈，冷風吹干氮化鋁基板表面，置于烘箱中烘烤，自然冷卻后得到DPC工藝用的高活性氮化鋁陶瓷基板。

2.根據權利要求1所述DPC工藝用鏡面氮化鋁陶瓷基板的高活性預處理方法，其特征在于：所述活化溶液中雙氧水的摩爾濃度為0.005～0.01mol/L，過硫酸鈉的摩爾濃度為0～0.005mol/L，乙二醇的摩爾濃度為0.0001～0.005mol/L，甘油的摩爾濃度為0～0.001mol/L，硝酸鈉的摩爾濃度為0～0.01mol/L，氟化銨的摩爾濃度為0.005～0.05mol/L，硝酸錳的摩爾濃度為0～0.01mol/L，草酸和EDTA的濃度均為0.005～0.01mol/L。

3.根據權利要求1所述的DPC工藝用鏡面氮化鋁陶瓷基板的高活性預處理方法，其特征在于：所述步驟二中鏡面氮化鋁基板除油清洗用的除油溶液為酸性除油液，溶度為50g/L～100g/L，超聲波頻率為40～80KHz，處理時間為15min～300min，超聲功率40％～90％，水溫30～40℃。

4.根據權利要求1所述的DPC工藝用鏡面氮化鋁陶瓷基板的高活性預處理方法，其特征在于：所述步驟三中鏡面氮化鋁基板除蠟清洗用的除油溶液為酸性除蠟液，溶度為100g/L～200g/L，超聲波頻率為40～80KHz，處理時間為15min～300min，超聲功率40％～90％，水溫50～75℃。

5.根據權利要求1所述DPC工藝用鏡面氮化鋁陶瓷基板的高活性預處理方法，其特征在于：所述步驟四超聲波頻率為40～80KHz，處理時間為15min～300min，超聲功率40％～90％，水溫30～40℃。

6.根據權利要求1所述DPC工藝用鏡面氮化鋁陶瓷基板的高活性預處理方法，其特征在于：所述步驟五中氮化鋁基板熱氧化處理的處理溫度100℃～150℃，保溫時間為30min～180min。