[發明專利]一種金剛石射線靶、制備方法及應用

在審

• 申請號: 201610040882.3
• 申請日: 2016-01-21
• 公開（公告）號: CN105702544A
• 公開（公告）日: 2016-06-22
• 發明（設計）人: 鄭磊;劉華榮;王俊聽;羅婷婷;李藝晶
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第三十八研究所
• 主分類號: H01J35/18
• 分類號: H01J35/18;H01J35/24;H01J35/08;H01J35/12;H01J9/02
• 代理公司: 合肥市浩智運專利代理事務所(普通合伙) 34124
• 代理人: 王林

1.一種金剛石射線靶，其特征在于，包括金剛石片、窗口封接環和薄膜陽極，所述金剛 石片通過焊料焊接在窗口封接環上，所述薄膜陽極沉積在金剛石片朝向電子束的一面。

2.根據權利要求1所述的一種金剛石射線靶，其特征在于，所述窗口封接環上開設連接 孔，所述連接孔的兩端為臺階面，所述金剛石片的端部放置在所述臺階面上并通過焊料焊接 在所述臺階面上。

3.根據權利要求1所述的一種金剛石射線靶，其特征在于，所述射線靶還包括散熱層， 所述散熱層鍍膜于所述薄膜陽極朝向電子束的一面。

4.根據權利要求1所述的一種金剛石射線靶，其特征在于，所述薄膜陽極的厚度為1～ 10μm，所述金剛石的厚度為0.05～0.3mm。

5.根據權利要求1所述的一種金剛石射線靶，其特征在于，所述金剛石片為化學氣相沉 積法制備得到，所述薄膜陽極朝向電子束的一面為所述金剛石片的成核面。

6.一種如權利要求1所述的金剛石射線靶的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1)在窗口封接環上開設連接孔，連接孔的兩端為臺階面，將焊料放入臺階面，再將金 剛石片放入臺階面上，焊接過程中確保金剛石壓緊焊接在窗口封接環上；

(2)焊接后，將金剛石片以外的部分擋住，在金剛石朝向電子束的一面沉積薄膜陽極。

7.根據權利要求6所述的一種金剛石射線靶的制備方法，其特征在于，所述制備方法還 包括步驟(3)，在薄膜陽極上朝向電子束的一面上鍍膜散熱層。

8.根據權利要求6所述的一種金剛石射線靶的制備方法，其特征在于，所述薄膜陽極選 自鎢、鉬、無氧銅或金中的任一種材料制備而成。

9.根據權利要求6所述的一種金剛石射線靶的制備方法，其特征在于，所述焊接方式為 真空釬焊或氬氣保護釬焊，焊料選自銀、銅、鈦、金的一種或多種。

10.一種金剛石射線靶在透射式微焦點X射線管中的應用。