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[發明專利]制造半導體器件的方法在審

專利信息
申請號: 201610040720.X 申請日: 2016-01-21
公開(公告)號: CN105826338A 公開(公告)日: 2016-08-03
發明(設計)人: 山口直 申請(專利權)人: 瑞薩電子株式會社
主分類號: H01L27/146 分類號: H01L27/146
代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256 代理人: 李輝
地址: 日本*** 國省代碼: 日本;JP
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摘要:
搜索關鍵詞: 制造 半導體器件 方法
【說明書】:
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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

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4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

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