[發明專利]拋光液加熱裝置及拋光溫度控制方法

在審

• 申請號: 201610040624.5
• 申請日: 2016-01-21
• 公開（公告）號: CN105538128A
• 公開（公告）日: 2016-05-04
• 發明（設計）人: 夏秋良
• 申請（專利權）人: 蘇州新美光納米科技有限公司
• 主分類號: B24B37/015
• 分類號: B24B37/015;B24B57/02;F24H1/10;F24H9/18;F24H9/20
• 代理公司: 無錫市大為專利商標事務所(普通合伙) 32104
• 代理人: 曹祖良;張濤

1.一種拋光液加熱裝置，包括拋光液輸送管（4）；其特征是：在所述拋光液輸送管（4）的末端設置用于對拋光液輸送管（4）內的拋光液進行加熱的拋光液加熱器，在拋光液輸送管（4）的管道出口處設置用于檢測拋光液溫度的拋光液溫度檢測器（6），所述拋光液溫度檢測器（6）以及拋光液加熱器均與加熱控制器連接，所述加熱控制器還與用于檢測拋光環境溫度的拋光環境溫度檢測器；

拋光環境溫度檢測器能向加熱控制器拋光環境溫度，拋光液溫度檢測器（6）能向加熱控制器傳輸拋光液輸送管（4）出口處的拋光液溫度，加熱控制器將拋光液溫度、拋光環境溫度與所述加熱控制器內的拋光預置溫度比較，并控制拋光液加熱器的加熱狀態，直至使得拋光環境溫度與拋光預置溫度相一致。

2.根據權利要求1所述的拋光液加熱裝置，其特征是：所述拋光液加熱器包括兩個用于對拋光液進行加熱的加熱板（5），所述加熱板（5）間具有拋光液流動的加熱空隙，，所述加熱板（5）為半導體加熱器、電阻絲加熱器或水浴加熱器。

3.根據權利要求1所述的拋光液加熱裝置，其特征是：所述拋光液加熱器包括呈對稱分布的夾板（7），在所述夾板（7）間設置若干用于對拋光液進行加熱的加熱柱（8）。

4.根據權利要求1所述的拋光液加熱裝置，其特征是：所述拋光液加熱器包括纏繞在拋光液輸送管（4）上的加熱線圈（9）或允許拋光液輸送管（4）纏繞的加熱棒（10）。

5.根據權利要求1所述的拋光液加熱裝置，其特征是：所述拋光液加熱器包括套在拋光液輸送管（4）外的加熱介質管，所述加熱介質管與拋光液輸送管（4）間具有與拋光液進行溫度交換的高溫加熱介質。

6.根據權利要求1所述的拋光液加熱裝置，其特征是：所述拋光液輸送管（4）上還設有調整輸送管（11），所述調整輸送管（11）與拋光液輸送管（4）相連通，拋光液加熱器能對拋光液輸送管（4）內的拋光液以及調整輸送管（11）內的調整液體進行加熱。

7.一種晶片用拋光液的拋光溫度控制方法，其特征是，所述拋光溫度控制方法包括如下步驟：

（a）、在所述拋光液輸送管（4）的末端設置用于對拋光液輸送管（4）內的拋光液進行加熱的拋光液加熱器，并在拋光液輸送管（4）的管道出口處設置用于檢測拋光液溫度的拋光液溫度檢測器（6）；

所述拋光液溫度檢測器（6）以及拋光液加熱器均與加熱控制器連接，所述加熱控制器還與用于檢測拋光環境溫度的拋光環境溫度檢測器；

（b）、加熱控制器將拋光液溫度、拋光環境溫度與所述加熱控制器內的拋光預置溫度比較，并控制拋光液加熱器的加熱狀態，直至使得拋光環境溫度與拋光預置溫度相一致。

8.根據權利要求7所述晶片用拋光液的拋光溫度控制方法，其特征是：所述拋光液加熱器包括纏繞在拋光液輸送管（4）上的加熱線圈（9）或允許拋光液輸送管（4）纏繞的加熱棒（10）。

9.根據權利要求7所述晶片用拋光液的拋光溫度控制方法，其特征是：所述拋光液輸送管（4）上還設有調整輸送管（11），所述調整輸送管（11）與拋光液輸送管（4）相連通，拋光液加熱器能對拋光液輸送管（4）內的拋光液以及調整輸送管（11）內的調整液體進行加熱；

拋光液溫度檢測器（6）檢測拋光液輸送管（4）出口處的液體溫度，加熱控制器將液體溫度、拋光環境溫度與所述加熱控制器內的拋光預置溫度比較，并控制拋光液加熱器的加熱狀態，直至使得拋光環境溫度與拋光預置溫度相一致。