[發(fā)明專利]六氟化硫氣體純度檢測裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610040444.7
• 申請日: 2016-01-21
• 公開（公告）號: CN105628750B
• 公開（公告）日: 2019-01-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王家興
• 申請（專利權(quán)）人: 晉江知保企業(yè)管理咨詢有限公司
• 主分類號: G01N27/12
• 分類號: G01N27/12
• 代理公司: 北京遠(yuǎn)大卓悅知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11369
• 代理人: 史霞

1.一種六氟化硫氣體純度檢測裝置，其特征在于，包括：

第一氣體檢測裝置，其沿氣體流通方向設(shè)置有第一吸附柱，所述第一氣體檢測裝置的進(jìn)氣口設(shè)置有第一氣體流量計以檢測進(jìn)氣總流量，所述進(jìn)氣口與所述第一吸附柱的進(jìn)氣的一端連接，所述第一吸附柱為填充有碳酸鈣顆粒吸附材料的吸附柱；

第二氣體檢測裝置，其與所述第一氣體檢測裝置連接，所述第二氣體檢測裝置沿氣體流通方向設(shè)置有第二吸附柱，所述第二吸附柱的進(jìn)氣的一端與所述第一吸附柱的出氣的一端連接，所述第二吸附柱的出氣的一端設(shè)置有第二氣體流量計以檢測經(jīng)過所述第一吸附柱與第二吸附柱吸附后的氣體流量，所述第二吸附柱為填充有氫氧化鈉顆粒吸附材料的吸附柱；

高溫裂解爐，其與所述第二氣體檢測裝置連接，所述高溫裂解爐沿氣體進(jìn)入方向設(shè)置有溫度控制區(qū)與裂解發(fā)生區(qū)，其中，所述溫度控制區(qū)控制進(jìn)入所述高溫裂解爐的氣體逐漸升溫以達(dá)到氣體裂解溫度后進(jìn)入所述裂解發(fā)生區(qū)，達(dá)到裂解溫度的氣體在所述裂解發(fā)生區(qū)發(fā)生裂解反應(yīng)，所述溫度控制區(qū)控制溫度的范圍為3500～3600℃；以及

第三氣體檢測裝置，其與所述高溫裂解爐的出氣口連接，所述第三氣體檢測裝置包括依次連接的氣敏傳感器、電性質(zhì)檢測設(shè)備和數(shù)據(jù)處理設(shè)備，所述氣敏傳感器具有氣敏層和非金屬保護層，所述氣敏層通過在基材上鍍有TiO₂-WO₃復(fù)合氧化物薄膜形成，所述非金屬材質(zhì)保護層位于所述氣敏層的上方，所述非金屬保護層的面板上設(shè)置有陣列排列的多個氣體通入孔，通過所述氣體通入孔使得被檢測氣體進(jìn)入所述氣敏層，所述氣敏層與所述非金屬保護層為活動連接，以便于所述氣敏層的更換，所述氣敏傳感器中設(shè)置有用于固定所述氣敏層的固定座，所述固定座與所述氣敏層卡扣活動連接；

所述高溫裂解爐的出氣口與所述第三氣體檢測裝置之間設(shè)置有氣體抽吸泵，所述氣體抽吸泵的出口與多個氣體通入孔對應(yīng)設(shè)置，所述氣體抽吸泵與微控制器連接以實現(xiàn)被檢測氣體的自控抽吸；

其中，所述高溫裂解爐裂解的六氟化硫氣體產(chǎn)物二氧化硫通過所述第三氣體檢測裝置的氣敏傳感器中的氣敏層發(fā)生作用引起其電性質(zhì)發(fā)生變化，所述電性質(zhì)檢測設(shè)備檢測氣敏傳感器的電阻變化并將數(shù)據(jù)傳輸至所述數(shù)據(jù)處理設(shè)備，所述數(shù)據(jù)處理設(shè)備分析處理輸出被檢測氣體二氧化硫的含量數(shù)據(jù)，通過所述第三氣體檢測裝置檢測計算出六氟化硫氣體的含量，將六氟化硫的含量與所述第一氣體流量計檢測的進(jìn)氣總流量對應(yīng)的總氣體含量進(jìn)行對比得出總氣體中六氟化硫氣體的純度。

2.如權(quán)利要求1所述的六氟化硫氣體純度檢測裝置，其特征在于，所述第一吸附柱與所述第一氣體檢測裝置的內(nèi)壁可拆卸連接，以便于所述第一吸附柱的更換。

3.如權(quán)利要求1所述的六氟化硫氣體純度檢測裝置，其特征在于，所述第二吸附柱與所述第二氣體檢測裝置的內(nèi)壁可拆卸連接，以便于所述第一吸附柱的更換。