[發明專利]一種制備T相鐵酸鉍薄膜的方法

有效

• 申請號: 201610040335.5
• 申請日: 2016-01-21
• 公開（公告）號: CN105702762B
• 公開（公告）日: 2017-11-17
• 發明（設計）人: 高榮禮;符春林;蔡葦;陳剛;鄧小玲
• 申請（專利權）人: 重慶科技學院
• 主分類號: H01L31/032
• 分類號: H01L31/032;H01L31/0445;H01L31/18
• 代理公司: 重慶蘊博君晟知識產權代理事務所(普通合伙)50223
• 代理人: 王玉芝

1.一種制備T相鐵酸鉍薄膜的方法，其特征在于：包括以下步驟：

鐵前驅液的配制：將冰醋酸加入到硝酸鐵中，置于70-90℃恒溫水浴鍋中加熱溶解，冷卻到室溫后轉移入容量瓶中，再滴加乙二醇乙醚定容即得鐵前驅液；

鉍前驅液的配制：將冰醋酸和乙二醇乙醚作為混合溶劑加入到硝酸鉍中，經溶解后轉移到容量瓶中，滴入乙二醇乙醚定容即得鉍前驅液；

將鐵前驅液滴加到鉍前驅液中，滴加后加入乙酰丙酮以調整溶膠粘度，混合均勻后經24小時即得純鐵酸鉍的溶膠；

將LaAlO₃基片分別用酒精和丙酮在超聲波中進行清洗，晾干；放置于勻膠機的吸片上；用除濕機將勻膠機周圍的空氣濕度降低到20％-50％；

取鐵酸鉍溶膠，用滴管滴在LaAlO₃基片，放置5-20秒，然后在勻膠機上勻膠；

勻膠機停止之后，將LaAlO₃基片取下，用吹風機從基片的背面通過熱風吹干，然后放入管式爐進行燒結；管式爐中氧氣的壓強保持在0.01-0.03M Pa，以每分鐘2-5°的速度將溫度升高到200-300°，保溫10-30分鐘，然后以相同的升溫速度升到550-620°，保溫1-3個小時；之后自然降到室溫；即制得T相鐵酸鉍薄膜。

2.根據權利要求1所述的一種制備T相鐵酸鉍薄膜的方法，其特征在于：在鐵前驅液滴加到鉍前驅液溶膠過程中，還可加入適量乙醇胺以控制溶膠的粘度。

3.根據權利要求1所述的一種制備T相鐵酸鉍薄膜的方法，其特征在于：所述LaAlO₃基片尺寸為10×10×0.5mm的(001)取向的基片。

4.根據權利要求1所述的一種制備T相鐵酸鉍薄膜的方法，其特征在于：鐵酸鉍溶膠滴在LaAlO₃基片在勻膠機上的勻膠過程包括，先在150-250轉每分鐘的速度下勻膠5-15秒，然后勻膠機轉速提高到2500-4000轉每分鐘時勻膠10-30秒。