[發明專利]一種新型孿生外置旋轉陰極

有效

• 申請號: 201610039979.2
• 申請日: 2016-01-21
• 公開（公告）號: CN105506568B
• 公開（公告）日: 2017-10-31
• 發明（設計）人: 朱選敏;李爍;夏志林
• 申請（專利權）人: 武漢科瑞達真空科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 北京世譽鑫誠專利代理事務所(普通合伙)11368
• 代理人: 郭官厚

1.一種新型孿生外置旋轉陰極，其特征在于：所述包括共用靶套(1)、孿生冷卻水系統(2)、共用工藝進氣系統(3)、孿生平衡磁極系統(4)、共用旋轉動力系統(5)、孿生電力接入系統(6)、孿生觀察視窗(7)和共用安全保護罩(8)；所述共用旋轉動力系統(5)的電機通過同步帶同步輪帶動共用靶套(1)以相同速度旋轉，且共用工藝進氣系統(3)通入工作氣體將真空維持在工作真空度，由孿生電力接入系統(6)接入相應的高壓電，將氣體離化成等離子體在孿生平衡磁極系統(4)提供的平衡磁場中進行磁控濺射鍍膜；

所述共用靶套(1)為由陰極套(1-1)、與陰極套(1-1)配套的下絕緣座(1-2)、與陰極套(1-1)真空密封配套的上絕緣座(1-3)和與上絕緣座(1-3)真空密封配套的動密封(1-4)組成；

所述冷卻水系統(2)由與下絕緣座(1-2)通過軸承相配合的下端蓋(2-1)、與下端蓋(2-1)真空密封配合的靶管(2-2)、與靶管(2-2)通過低熔點金屬焊接配合的濺射靶材(2-3)、與靶管(2-2)真空密封配合的上端蓋(2-4)、與下端蓋(2-1)摩擦配合的出水管(2-5)、與出水管(2-5)水密封配合的進水管(2-6)和與進水管(2-6)、出水管(2-5)水密封配合的分水器(2-7)組成；

所述工藝進氣系統(3)由與工藝氣瓶線連接的進氣連接管(3-1)、與陰極套(1-1)真空配合的密封蓋(3-2)、與工藝進氣連接管(3-1)通聯的均氣座(3-3)和與均氣座(3-3)緊固連接的均氣蓋(3-4)組成；

所述平衡磁極系統(4)由與出水管(2-5)緊固配合的緊固座(4-1)、與緊固座(4-1)緊固連接的磁極座(4-2)、固定安裝在磁極座(4-2)上南(北)磁極(4-3)、固定安裝在磁極座(4-2)上的北(南)磁極(4-4)、與磁極座(4-2)緊固相連的磁極蓋(4-5)、與出水管(2-5)緊固連接的磁極方向定位座(4-6)和與絕緣座(6-1)緊固連接的磁極定位安裝板(4-7)組成；

所述旋轉動力系統(5)由與陰極套(1-1)緊固連接的電機安裝座(5-1)、安裝在電機安裝座(5-1)上的伺服電機(5-2)和通過同步輪和同步帶與電機相連的傳動輪(5-3)組成，傳動輪(5-3)與上端蓋(2-4)緊固連接；

所述電力接入系統(6)由與電機安裝座(5-1)緊固連接的絕緣座(6-1)、與絕緣座(6-1)緊固連接的電極安裝座(6-2)、通過石墨碳刷與電極安裝座相連接的導電銅環(6-3)和防止兩個陰極之間放電的滅弧片(6-4)組成；

所述觀察視窗(7)為與陰極套(1-1)真空密封的石英玻璃安裝件；

2.根據權利要求1所述的一種新型孿生外置旋轉陰極，其特征在于：所述的新型孿生外置旋轉陰極通過真空密封與真空系統配合使用。

3.根據權利要求1所述的一種新型孿生外置旋轉陰極，其特征在于：所述的新型孿生外置旋轉陰極的極限真空為10^-5帕斯卡，且工作真空范圍為0.01-10帕斯卡。

4.根據權利要求1所述的一種新型孿生外置旋轉陰極，其特征在于：所述的新型孿生外置旋轉陰極可以任意角度安裝。

5.根據權利要求1所述的一種新型孿生外置旋轉陰極，其特征在于：所述的新型孿生外置旋轉陰極適合采用中頻濺射電源、雙路直流電源和雙路脈沖直流電源。