[發明專利]一種具有體光伏效應的鐵電薄膜器件

有效

• 申請號: 201610039249.2
• 申請日: 2016-01-21
• 公開（公告）號: CN105702753B
• 公開（公告）日: 2017-08-25
• 發明（設計）人: 高榮禮;符春林;蔡葦;陳剛;鄧小玲
• 申請（專利權）人: 重慶科技學院
• 主分類號: H01L31/0224
• 分類號: H01L31/0224;H01L31/032
• 代理公司: 重慶蘊博君晟知識產權代理事務所(普通合伙)50223
• 代理人: 王玉芝

1.一種具有體光伏效應的鐵電薄膜器件，其特征在于：包括襯底(1)，所述襯底(1)上沉積鐵電薄膜(2)，該鐵電薄膜(2)的極化方向垂直于其表面；所述鐵電薄膜(2)上沉積有呈正多邊形的中心電極(3)，鐵電薄膜(2)上還沉積有多個正多邊形的邊緣電極(4)，邊緣電極(4)的數量與所述中心電極(3)的邊數相等，邊緣電極(4)陣列在中心電極(3)的周圍，中心電極(3)的每條邊與相鄰的邊緣電極(4)的邊平行且間隔距離為L，所述邊緣電極(4)和中心電極(3)的材料相同且同時制備。

2.根據權利要求1所述的一種具有體光伏效應的鐵電薄膜器件，其特征在于：所述鐵電薄膜(2)為T相。

3.根據權利要求1或2所述的一種具有體光伏效應的鐵電薄膜器件，其特征在于：所述中心電極(3)的邊長d1，所述邊緣電極(4)的邊長d2，d1≥d2>L。

4.根據權利要求3所述的一種具有體光伏效應的鐵電薄膜器件，其特征在于：邊緣電極(4)的邊長d2>0.3mm，中心電極(3)與相鄰邊緣電極(4)平行的邊的間隔距離0<L<0.1mm。

5.根據權利要求4所述的一種具有體光伏效應的鐵電薄膜器件，其特征在于：所述中心電極(3)、邊緣電極(4)材質相同為Ag、Au、Cu、Pt、ITO其中一種。