[發(fā)明專利]一種單晶硅截?cái)鄼C(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610037191.8
• 申請(qǐng)日: 2016-01-20
• 公開（公告）號(hào): CN105599158B
• 公開（公告）日: 2018-03-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 段景波;解培玉;崔陳晨;孫萌;楊勇;李浩;唐順鋒
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 青島高測(cè)科技股份有限公司
• 主分類號(hào): B28D5/04
• 分類號(hào): B28D5/04;B28D7/04;B28D7/00
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種單晶硅截?cái)鄼C(jī)，包括底座、分別安裝于底座左右兩側(cè)的繞線室、安裝于繞線室之間的切割室、安裝于底座一側(cè)的控制柜、用于提供切割絲正常切割的冷卻噴淋裝置，其特征在于：所述單晶硅截?cái)鄼C(jī)還包括用于設(shè)備防護(hù)的防護(hù)裝置和用于設(shè)備操控的操控裝置，所述切割室包括安裝于底座上的晶托裝置、驅(qū)動(dòng)晶托裝置上下運(yùn)動(dòng)的起升裝置、以及安裝在起升裝置上端的線網(wǎng)裝置，所述晶托裝置包括晶托框架、安裝于晶托框架底部的滾輪組件、以及安裝于晶托框架上的單棒夾具組件和單棒定中心組件，所述線網(wǎng)裝置包括線網(wǎng)框架、安裝于線網(wǎng)框架兩端的兩組驅(qū)動(dòng)切割機(jī)頭組件、安裝在兩組驅(qū)動(dòng)切割機(jī)頭組件之間的至少五組移動(dòng)切割機(jī)頭組件、機(jī)頭驅(qū)動(dòng)組件、以及用于固定切割機(jī)頭的機(jī)頭鎖定組件和用于檢測(cè)切割機(jī)頭移動(dòng)距離的位移檢測(cè)組件，所述底座上還安裝有晶托外托架，晶托外托架上設(shè)有與滾輪組件配合的滑軌；

所述單棒定中心組件包括定中心移動(dòng)單元、夾緊單元和用于密封防護(hù)的風(fēng)琴式伸縮防護(hù)罩；所述定中心移動(dòng)單元包括滑動(dòng)底座、安裝在滑動(dòng)底座上且與直線導(dǎo)軌上的滑塊固定連接的連接板、安裝在滑動(dòng)底座上的轉(zhuǎn)軸固定座、可轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在轉(zhuǎn)軸固定座上的轉(zhuǎn)軸、安裝在轉(zhuǎn)軸的一端并與晶托框架上的齒條相配合的齒輪、以及安裝在轉(zhuǎn)軸另一端的手輪，所述夾緊單元包括安裝在滑動(dòng)底座上的定中心支座、安裝在定中心支座上的定中心絲杠和兩根直線軸承單元、與定中心絲杠和兩根直線軸承單元相連接的定中心支撐板、以及安裝在定中心支撐板上的定中心卡爪，所述定中心絲杠的一端伸出定中心支座固定連接有手輪。

2.如權(quán)利要求1所述的單晶硅截?cái)鄼C(jī)，其特征在于：所述晶托框架上還安裝有直線導(dǎo)軌、齒條、接料盒以及用于密封防護(hù)的風(fēng)琴式伸縮防護(hù)罩和不銹鋼防護(hù)板，所述接料盒安裝于晶托框架的兩側(cè)，所述晶托框架的兩側(cè)還分別安裝有移動(dòng)限位塊，所述單棒夾具組件和單棒定中心組件通過(guò)安裝在直線導(dǎo)軌上的滑塊橫向移動(dòng)。

3.如權(quán)利要求2所述的單晶硅截?cái)鄼C(jī)，其特征在于：所述單棒夾具組件包括V型底座、安裝在V型底座上的四組新浮動(dòng)支撐單元、安裝在V型底座上且與直線導(dǎo)軌上的滑塊固定連接的連接板、安裝在V型底座上的轉(zhuǎn)軸固定座、可轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在轉(zhuǎn)軸固定座上的轉(zhuǎn)軸、安裝在轉(zhuǎn)軸的一端并與晶托框架上的齒條相配合的齒輪、以及安裝在轉(zhuǎn)軸另一端的手輪。

4.如權(quán)利要求3所述的單晶硅截?cái)鄼C(jī)，其特征在于：所述新浮動(dòng)支撐單元通過(guò)支撐法蘭與V型底座固定連接，支撐法蘭通過(guò)螺釘與V型底座固定連接，新浮動(dòng)支撐單元包括鎖緊氣缸、與鎖緊氣缸相連接的支撐塊、以及設(shè)置在支撐塊上的墊塊，所述支撐塊與墊塊之間還設(shè)置有環(huán)形風(fēng)琴式防護(hù)罩。

5.如權(quán)利要求1所述的單晶硅截?cái)鄼C(jī)，其特征在于：所述線網(wǎng)框架上設(shè)置有相互平行的直線導(dǎo)軌和直線滾珠絲杠、以及用于密封防護(hù)的風(fēng)琴式伸縮防護(hù)罩和不銹鋼防護(hù)板，所述線網(wǎng)框架的頂部還安裝有移動(dòng)拖鏈，所述驅(qū)動(dòng)切割機(jī)頭組件和移動(dòng)切割機(jī)頭組件通過(guò)安裝在直線導(dǎo)軌上的滑塊移動(dòng)，所述機(jī)頭驅(qū)動(dòng)組件通過(guò)螺母與直線滾珠絲杠連接。

6.如權(quán)利要求5所述的單晶硅截?cái)鄼C(jī)，其特征在于：所述驅(qū)動(dòng)切割機(jī)頭組件包括固定在直線導(dǎo)軌滑塊上的刀座組件、固定在刀座組件上的主動(dòng)輪固定座、固定在主動(dòng)輪固定座上的主動(dòng)輪組件、與主動(dòng)輪組件相配合的換向輪組件、以及安裝在主動(dòng)輪固定座上的噴嘴組件和移動(dòng)限位組件，所述驅(qū)動(dòng)切割機(jī)頭組件中的換向輪組件通過(guò)換向輪安裝座固定在主動(dòng)輪固定座的一側(cè)上；所述移動(dòng)切割機(jī)頭組件包括固定在直線導(dǎo)軌滑塊上的刀座組件、固定在刀座組件上的切割導(dǎo)輪座、固定在切割導(dǎo)輪座上的被動(dòng)切割輪組件、與被動(dòng)切割輪組件相配合的換向輪組件、以及安裝在切割導(dǎo)輪座上的噴嘴組件和移動(dòng)限位組件，所述移動(dòng)切割機(jī)頭組件中的換向輪組件通過(guò)換向輪安裝座固定在切割導(dǎo)輪座的一側(cè)上。

7.如權(quán)利要求6所述的單晶硅截?cái)鄼C(jī)，其特征在于：所述主動(dòng)輪組件包括伺服驅(qū)動(dòng)電機(jī)、電機(jī)防護(hù)罩、主動(dòng)輪軸、設(shè)置在主動(dòng)輪軸上的主動(dòng)輪軸承套、用于切割絲走線的主切割輪，所述被動(dòng)切割輪組件包括切割輪軸、設(shè)置在切割輪軸上的切割輪軸承套、用于切割絲走線切割的被動(dòng)切割輪，所述移動(dòng)限位組件包括依次水平設(shè)置的限位座、限位桿和聚氨酯塊，所述限位座與刀座組件連接，所述限位桿的長(zhǎng)度固定。

8.如權(quán)利要求6所述的單晶硅截?cái)鄼C(jī)，其特征在于：所述機(jī)頭驅(qū)動(dòng)組件包括安裝在刀座組件上的驅(qū)動(dòng)電機(jī)座和安裝在驅(qū)動(dòng)電機(jī)座上的機(jī)頭驅(qū)動(dòng)電機(jī)，機(jī)頭驅(qū)動(dòng)電機(jī)通過(guò)螺母與直線滾珠絲杠連接。