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[發明專利]一種單晶硅截斷機有效

專利信息
申請號: 201610037191.8 申請日: 2016-01-20
公開(公告)號: CN105599158B 公開(公告)日: 2018-03-23
發明(設計)人: 段景波;解培玉;崔陳晨;孫萌;楊勇;李浩;唐順鋒 申請(專利權)人: 青島高測科技股份有限公司
主分類號: B28D5/04 分類號: B28D5/04;B28D7/04;B28D7/00
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 266114 山東省青*** 國省代碼: 山東;37
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 單晶硅 截斷
【權利要求書】:

1.一種單晶硅截斷機,包括底座、分別安裝于底座左右兩側的繞線室、安裝于繞線室之間的切割室、安裝于底座一側的控制柜、用于提供切割絲正常切割的冷卻噴淋裝置,其特征在于:所述單晶硅截斷機還包括用于設備防護的防護裝置和用于設備操控的操控裝置,所述切割室包括安裝于底座上的晶托裝置、驅動晶托裝置上下運動的起升裝置、以及安裝在起升裝置上端的線網裝置,所述晶托裝置包括晶托框架、安裝于晶托框架底部的滾輪組件、以及安裝于晶托框架上的單棒夾具組件和單棒定中心組件,所述線網裝置包括線網框架、安裝于線網框架兩端的兩組驅動切割機頭組件、安裝在兩組驅動切割機頭組件之間的至少五組移動切割機頭組件、機頭驅動組件、以及用于固定切割機頭的機頭鎖定組件和用于檢測切割機頭移動距離的位移檢測組件,所述底座上還安裝有晶托外托架,晶托外托架上設有與滾輪組件配合的滑軌;

所述單棒定中心組件包括定中心移動單元、夾緊單元和用于密封防護的風琴式伸縮防護罩;所述定中心移動單元包括滑動底座、安裝在滑動底座上且與直線導軌上的滑塊固定連接的連接板、安裝在滑動底座上的轉軸固定座、可轉動安裝在轉軸固定座上的轉軸、安裝在轉軸的一端并與晶托框架上的齒條相配合的齒輪、以及安裝在轉軸另一端的手輪,所述夾緊單元包括安裝在滑動底座上的定中心支座、安裝在定中心支座上的定中心絲杠和兩根直線軸承單元、與定中心絲杠和兩根直線軸承單元相連接的定中心支撐板、以及安裝在定中心支撐板上的定中心卡爪,所述定中心絲杠的一端伸出定中心支座固定連接有手輪。

2.如權利要求1所述的單晶硅截斷機,其特征在于:所述晶托框架上還安裝有直線導軌、齒條、接料盒以及用于密封防護的風琴式伸縮防護罩和不銹鋼防護板,所述接料盒安裝于晶托框架的兩側,所述晶托框架的兩側還分別安裝有移動限位塊,所述單棒夾具組件和單棒定中心組件通過安裝在直線導軌上的滑塊橫向移動。

3.如權利要求2所述的單晶硅截斷機,其特征在于:所述單棒夾具組件包括V型底座、安裝在V型底座上的四組新浮動支撐單元、安裝在V型底座上且與直線導軌上的滑塊固定連接的連接板、安裝在V型底座上的轉軸固定座、可轉動安裝在轉軸固定座上的轉軸、安裝在轉軸的一端并與晶托框架上的齒條相配合的齒輪、以及安裝在轉軸另一端的手輪。

4.如權利要求3所述的單晶硅截斷機,其特征在于:所述新浮動支撐單元通過支撐法蘭與V型底座固定連接,支撐法蘭通過螺釘與V型底座固定連接,新浮動支撐單元包括鎖緊氣缸、與鎖緊氣缸相連接的支撐塊、以及設置在支撐塊上的墊塊,所述支撐塊與墊塊之間還設置有環形風琴式防護罩。

5.如權利要求1所述的單晶硅截斷機,其特征在于:所述線網框架上設置有相互平行的直線導軌和直線滾珠絲杠、以及用于密封防護的風琴式伸縮防護罩和不銹鋼防護板,所述線網框架的頂部還安裝有移動拖鏈,所述驅動切割機頭組件和移動切割機頭組件通過安裝在直線導軌上的滑塊移動,所述機頭驅動組件通過螺母與直線滾珠絲杠連接。

6.如權利要求5所述的單晶硅截斷機,其特征在于:所述驅動切割機頭組件包括固定在直線導軌滑塊上的刀座組件、固定在刀座組件上的主動輪固定座、固定在主動輪固定座上的主動輪組件、與主動輪組件相配合的換向輪組件、以及安裝在主動輪固定座上的噴嘴組件和移動限位組件,所述驅動切割機頭組件中的換向輪組件通過換向輪安裝座固定在主動輪固定座的一側上;所述移動切割機頭組件包括固定在直線導軌滑塊上的刀座組件、固定在刀座組件上的切割導輪座、固定在切割導輪座上的被動切割輪組件、與被動切割輪組件相配合的換向輪組件、以及安裝在切割導輪座上的噴嘴組件和移動限位組件,所述移動切割機頭組件中的換向輪組件通過換向輪安裝座固定在切割導輪座的一側上。

7.如權利要求6所述的單晶硅截斷機,其特征在于:所述主動輪組件包括伺服驅動電機、電機防護罩、主動輪軸、設置在主動輪軸上的主動輪軸承套、用于切割絲走線的主切割輪,所述被動切割輪組件包括切割輪軸、設置在切割輪軸上的切割輪軸承套、用于切割絲走線切割的被動切割輪,所述移動限位組件包括依次水平設置的限位座、限位桿和聚氨酯塊,所述限位座與刀座組件連接,所述限位桿的長度固定。

8.如權利要求6所述的單晶硅截斷機,其特征在于:所述機頭驅動組件包括安裝在刀座組件上的驅動電機座和安裝在驅動電機座上的機頭驅動電機,機頭驅動電機通過螺母與直線滾珠絲杠連接。

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