[發(fā)明專利]基板搬送裝置的位置調(diào)整方法以及基板處理裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610034301.5
• 申請(qǐng)日: 2012-03-01
• 公開（公告）號(hào): CN105489537B
• 公開（公告）日: 2018-04-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 道木裕一;林德太郎;飯?zhí)锍烧?/a>;榎木田卓
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/687
• 代理公司: 北京尚誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11322
• 代理人: 龍淳,何中文

本申請(qǐng)是2012年3月1日提出的申請(qǐng)?zhí)枮?01210052118.X的申請(qǐng)的分案申請(qǐng)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及搬送基板的基板搬送裝置的位置調(diào)整方法以及基板處理裝置。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體裝置和平板顯示器(FPD：Flat Panel Display)的制造工序中，使用具有多個(gè)處理模塊和分別相對(duì)這些處理模塊搬入搬出基板的基板搬送裝置的基板處理裝置。在這樣的基板處理裝置中，利用基板搬送裝置向多個(gè)處理模塊依次搬送基板，進(jìn)行與處理模塊對(duì)應(yīng)的規(guī)定的處理。此時(shí)，例如當(dāng)未將基板置于處理模塊內(nèi)的適當(dāng)?shù)奈恢脮r(shí)，存在在基板整個(gè)面不能進(jìn)行均一的處理的問(wèn)題。因此，基板搬送裝置構(gòu)成為能夠發(fā)揮較高的搬送精度，但為了在適當(dāng)?shù)奈恢梅胖没澹荒苋鄙侔崴臀恢谜{(diào)整。

作為基板搬送裝置的搬送位置調(diào)整，例如有時(shí)利用基板搬送裝置搬送搭載有照相機(jī)或傳感器等的檢測(cè)器的調(diào)整夾具(adjusting jig)，基于檢測(cè)器檢測(cè)到的位置求出與規(guī)定的基準(zhǔn)位置的偏移，進(jìn)行修正該偏移的操作(指點(diǎn)操作)(例如專利文獻(xiàn)1和2)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2009－54665號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：日本特開2008－109027號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明想要解決的問(wèn)題

但是，在使用調(diào)整夾具的情況下，當(dāng)不以相應(yīng)的頻率進(jìn)行調(diào)整夾具的檢查和校正時(shí)，存在由于調(diào)整夾具自身導(dǎo)致的調(diào)整誤差的問(wèn)題。另外，當(dāng)調(diào)整夾具的安裝存在失誤時(shí)，有時(shí)不能進(jìn)行適當(dāng)?shù)陌崴臀恢谜{(diào)整。還有，調(diào)整夾具比較昂貴，并且需要相應(yīng)于位于基板的搬送目的地的處理模塊的形狀等準(zhǔn)備多個(gè)調(diào)整夾具，因此搬送位置調(diào)整有時(shí)需要相當(dāng)大的費(fèi)用。因此，期望以不使用調(diào)整夾具的方式進(jìn)行基板搬送裝置的位置調(diào)整。

所以，本發(fā)明提供不使用調(diào)整夾具就能夠進(jìn)行搬送位置調(diào)整的基板搬送裝置的位置調(diào)整方法和基板處理裝置。

用于解決問(wèn)題的方法

根據(jù)本發(fā)明的第一方面，提供一種基板搬送裝置的位置調(diào)整方法，包括：第一檢測(cè)步驟，在基板搬送裝置中，利用基板搬送裝置的基板保持部保持基板，檢測(cè)該基板的第一位置；將由上述基板保持部保持的上述基板向保持并旋轉(zhuǎn)基板的基板旋轉(zhuǎn)部搬送的步驟；利用上述基板旋轉(zhuǎn)部使保持于上述基板旋轉(zhuǎn)部的上述基板僅僅旋轉(zhuǎn)規(guī)定的角度的步驟；從上述基板旋轉(zhuǎn)部接收被上述基板旋轉(zhuǎn)部旋轉(zhuǎn)的上述基板的步驟；第二檢測(cè)步驟，檢測(cè)上述基板保持部接收的該基板的第二位置；基于上述第一位置和上述第二位置，掌握上述基板旋轉(zhuǎn)部的旋轉(zhuǎn)中心位置的步驟；和基于上述掌握的上述旋轉(zhuǎn)中心位置，調(diào)整上述基板保持部的位置的步驟。

根據(jù)本發(fā)明的第二方面，提供一種基板處理裝置，其具有：

保持并搬送基板的基板保持部；位置檢測(cè)部，檢測(cè)與上述基板保持部相對(duì)設(shè)置，由上述基板保持部保持的上述基板的位置；基板旋轉(zhuǎn)部，能夠在與上述基板保持部之間進(jìn)行上述基板的交接，保持并旋轉(zhuǎn)上述基板；和控制部，構(gòu)成為：利用上述位置檢測(cè)部求出由上述基板保持部保持的上述基板的第一位置、和上述基板被交接到上述基板旋轉(zhuǎn)部并被旋轉(zhuǎn)規(guī)定的角度、由上述基板保持部接收的上述基板的第二位置，基于上述第一位置和上述第二位置掌握上述基板旋轉(zhuǎn)部的旋轉(zhuǎn)中心位置，基于掌握的上述旋轉(zhuǎn)中心位置調(diào)整上述基板保持部的位置。

根據(jù)本發(fā)明的第三方面，提供一種基板處理裝置，具有：基板載置部，載置由基板搬送裝置的基板保持部搬送的基板；和與由上述基板保持部搬送的上述基板的外邊緣部接觸，能夠保持該基板的至少三個(gè)基板支承部件，上述至少三個(gè)基板支承部件配置為，由上述至少三個(gè)基板支承部件保持的上述基板的位置與上述基板載置部中的上述基板的適當(dāng)位置對(duì)應(yīng)。

根據(jù)本發(fā)明的第四方面，提供一種位置調(diào)整方法，具有：基板載置部，載置由基板搬送裝置的基板保持部搬送的基板；和與由上述基板保持部搬送的上述基板的外邊緣部接觸，能夠保持該基板的至少三個(gè)基板支承部件，上述至少三個(gè)基板支承部件配置為，由上述至少三個(gè)基板支承部件保持的上述基板的位置與上述基板載置部中的上述基板的適當(dāng)位置對(duì)應(yīng)，上述基板搬送裝置的位置調(diào)整方法的特征在于，具有：由上述基板保持部搬送上述基板，使上述基板保持于上述至少三個(gè)基板支承部件的步驟；從上述基板保持部接收由上述至少三個(gè)基板支承部件保持的上述基板的步驟；和檢測(cè)接收的上述基板的位置的步驟，基于檢測(cè)的上述基板的位置，調(diào)整上述基板保持部的位置。