[發明專利]可調控式不溶性陽極板及其應用于銅柱電鍍的方法

在審

• 申請號: 201610031537.3
• 申請日: 2016-01-18
• 公開（公告）號: CN106868574A
• 公開（公告）日: 2017-06-20
• 發明（設計）人: 王彥智;楊家榮
• 申請（專利權）人: 臺灣先進系統股份有限公司
• 主分類號: C25D17/12
• 分類號: C25D17/12;C25D17/10;C25D21/12
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司72003
• 代理人: 李昕巍,鄭泰強

1.一種可調控式不溶性陽極板，應用于銅柱電鍍工藝，包含：

一陽極板，一電源供應器，以及一控制器；

其中，該陽極板還包括：一極板，該極板是由一耐酸堿性的材料制成；多個金屬柱，是依一排列方式內嵌于該極板內，該多個金屬柱的每一個金屬柱的一端面是露出于該極板的表面，以接觸一電鍍工藝使用的一電鍍液，而另一端面則分別通過一導線連接于該電源供應器；該控制器是連接于該電源供應器，以控制該電源供應器對每一個金屬柱的供應電流。

2.如權利要求1所述的可調控式不溶性陽極板，其中該控制器為一可編程控制器、一可編程邏輯控制器、或一可編程自動化控制器。

3.如權利要求1所述的可調控式不溶性陽極板，其中該控制器控制該電源供應器對每一個金屬柱的供應電流包括控制電流大小、供電時序、或供電時間長短。

4.如權利要求1所述的可調控式不溶性陽極板，其中該多個金屬柱的排列方式可為一陣列方式、一圓形方式、或其他任意方式。

5.如權利要求1所述的可調控式不溶性陽極板，其中該多個金屬柱的形狀可為一圓形柱、一方形柱、或一矩形柱。

6.如權利要求1所述的可調控式不溶性陽極板，其中該多個金屬柱的表面具有一層導電耐酸堿膜。

7.一種使用可調控式不溶性陽極板的銅柱電鍍方法，包括：

提供一不溶性陽極板，該不溶性陽極板包含：一極板，該極板是由一耐酸堿性的材料制成；多個金屬柱，是依一排列方式內嵌于該極板內，該多個金屬柱的每一個金屬柱的一端面是露出于該極板的表面，而另一端面則連接一導線；

將該多個金屬柱的每一個金屬柱所連接的導線分別連接至一電源供應器；

將該電源供應器連接至一控制器；以及

在電鍍工藝中，通過該控制器控制該電源供應器分別對每一個金屬柱的供應電流。

8.如權利要求7所述的銅柱電鍍方法，其中該控制器為一可編程控制器、 一可編程邏輯控制器、或一可編程自動化控制器。

9.如權利要求7所述的銅柱電鍍方法，其中該控制器控制該電源供應器對每一個金屬柱的供應電流包括控制電流大小、供電時序、或供電時間長短。

10.如權利要求7所述的銅柱電鍍方法，其中該多個金屬柱的排列方式可為一陣列方式、一圓形方式、或其他任意方式。

11.如權利要求7所述的銅柱電鍍方法，其中該多個金屬柱的形狀可為一圓形柱、一方形柱、或一矩形柱。

12.如權利要求7所述的銅柱電鍍方法，其中該多個金屬柱的表面具有一層導電耐酸堿膜。