[發明專利]一種電容式壓力傳感器及其制造方法有效
| 申請號: | 201610031110.3 | 申請日: | 2016-01-18 |
| 公開(公告)號: | CN105890827B | 公開(公告)日: | 2019-05-21 |
| 發明(設計)人: | 周志健;朱二輝;陳磊;楊力建;鄺國華 | 申請(專利權)人: | 廣東合微集成電路技術有限公司 |
| 主分類號: | G01L1/14 | 分類號: | G01L1/14;G01L9/12 |
| 代理公司: | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆;胡彬 |
| 地址: | 523808 廣東省東莞市松山湖高*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 電容 壓力傳感器 及其 制造 方法 | ||
【權利要求書】:
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