[發明專利]一種二維微動平臺裝置

有效

• 申請號: 201610030892.9
• 申請日: 2016-01-18
• 公開（公告）號: CN105551836B
• 公開（公告）日: 2018-04-17
• 發明（設計）人: 周怡琳;王海瑞;王井;李又容
• 申請（專利權）人: 北京郵電大學
• 主分類號: H01H1/00
• 分類號: H01H1/00;B25J9/08;B25H1/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種二維微動平臺裝置，其特征在于，平臺可以實現在平面任意方向上的無摩擦微運動，該裝置包括：電磁驅動部分、籠式結構部分和基座，其中，

電磁驅動部分，包括：方板、支撐架、線圈骨架、產生磁力的線圈和受磁力的磁鋼，線圈纏繞在線圈骨架上以后，用膠粘附在支撐架上，支撐架固定在基座上，方板中心開圓孔與磁鋼過盈配合，磁鋼的另一端懸浮在線圈之中，并且保持磁鋼的軸線與線圈的軸線一致，方板用螺栓固定在籠式結構部分的平臺上，線圈通電后產生的磁場對經磁化后的磁鋼產生吸引或排斥力，使磁鋼沿線圈的軸線方向運動，磁鋼帶動方板，進而帶動平臺運動；

籠式結構部分，包括：平臺、底座和48根彈性鋼絲，平臺上方用于安裝樣片，平臺下表面與底座上表面均打孔與彈性鋼絲配合并緊固；

基座，用于支撐并固定電磁驅動部分和底座。

2.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述籠式結構部分，48根彈性鋼絲呈圓形分布，平臺受力后，在平面內各個方向的運動具有一致性；彈性鋼絲在垂直方向上可以支撐平臺及觸頭加載力，在橫向受磁場力后依靠小撓度的變形實現平臺的微動，撤去磁場后，靠本身彈性復位，實現小于200微米的往復微動。

3.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述電磁驅動部分在同一個方向有兩個對稱放置的線圈和磁鋼，既增加了驅動力，同時克服了力與位移的非線性失真，實現此特征的有四套線圈和磁鋼，其中,

磁鋼是釹鐵硼材料經磁化后的永磁體，同方向的一對線圈通正電后，一端線圈吸引與之鄰近的磁鋼，拉動平臺，另一線圈排斥與其鄰近的磁鋼，推動平臺，一推一拉同時工作使平臺始終保持水平，輸入負信號則平臺反向運動。