[發明專利]一種ITO薄膜的制備方法

有效

• 申請號: 201610030602.0
• 申請日: 2016-01-18
• 公開（公告）號: CN106977112B
• 公開（公告）日: 2019-10-18
• 發明（設計）人: 謝美蘭;吳馨洲;邵霜霜;陳征;崔錚
• 申請（專利權）人: 中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所
• 主分類號: C03C17/25
• 分類號: C03C17/25;C03C23/00
• 代理公司: 南京利豐知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 32256
• 代理人: 王鋒

1.一種ITO薄膜的制備方法，其特征在于包括：

（1）將ITO前驅體液涂覆在基體上，并經干燥處理而形成薄膜；

（2）將所述薄膜在300℃以下空氣氛圍退火，之后進行閃燈強脈沖光燒結處理，閃燈能量密度在130J/m²以下，閃燈時間在2ms以下，脈沖1～2次。

2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于步驟（1）包括：將ITO前驅體液涂覆在基體上，并在150℃～300℃烘10min以上，從而完成干燥處理并形成所述薄膜。

3.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于包括：重復步驟（1）的操作一次以上，之后進行步驟（2）的操作。

4.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于步驟（1）包括：采用無堿玻璃作為所述的基體，并以功率在50W以上的O₂等離子體處理所述基體，之后在所述基體上涂覆所述的ITO前驅體液。

5.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于所述ITO前驅體液的制備方法包括：將In前驅體液和Sn前驅體液以12.3:1～9:1的物質的量比混合，并攪拌1h以上，形成所述的ITO前驅體液。

6.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于步驟（2）包括：將所述薄膜在150～300℃下空氣氛圍退火1h以上，之后進行閃燈強脈沖光燒結處理。

7.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：所述閃燈強脈沖光燒結處理中采用的閃燈能量密度為80～130J/m²，閃燈時間大于0而小于或等于2ms，脈沖1～2次。

8.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：所述閃燈強脈沖光燒結處理采用的燈包括螺旋氙燈。