[發明專利]半導體裝置有效
| 申請號： | 201610028286.3 | 申請日： | 2016-01-15 |
| 公開（公告）號： | CN106531796B | 公開（公告）日： | 2020-01-10 |
| 發明（設計）人： | 河野洋志 | 申請（專利權）人： | 株式會社東芝 |
| 主分類號： | H01L29/78 | 分類號： | H01L29/78;H01L29/06;H01L29/16 |
| 代理公司： | 11287 北京律盟知識產權代理有限責任公司 | 代理人： | 張世俊 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 半導體 裝置 | ||
【權利要求書】：
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