[發(fā)明專利]一種小孔徑長距離光學(xué)兼容真空樣品腔

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610024358.7
• 申請日: 2016-01-13
• 公開（公告）號: CN105548015A
• 公開（公告）日: 2016-05-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 徐楊兵;候玉斌;盛志高
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院
• 主分類號: G01N21/03
• 分類號: G01N21/03;G01N21/15
• 代理公司: 安徽合肥華信知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 34112
• 代理人: 余成俊

1.一種小孔徑長距離光學(xué)兼容真空樣品腔，其特征在于：包括有自上至下依次設(shè)置的低溫樣品桿、多通道連接裝置、超高真空角度可調(diào)節(jié)裝置、超高真空XYZ三維位移平臺、上腔體、光學(xué)窗口和窗口保護(hù)腔體；所述低溫樣品桿與多通道連接裝置真空密封連接，多通道連接裝置與超高真空角度可調(diào)節(jié)裝置真空密封連接，超高真空角度可調(diào)節(jié)裝置與超高真空XYZ三維位移平臺真空密封連接，超高真空XYZ三維位移平臺與上腔體真空密封連接，上腔體與光學(xué)窗口真空密封連接，光學(xué)窗口與窗口保護(hù)腔體連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種小孔徑長距離光學(xué)兼容真空樣品腔，其特征在于：所述光學(xué)窗口包括有高穩(wěn)定性、高透過率的光學(xué)玻璃。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種小孔徑長距離光學(xué)兼容真空樣品腔，其特征在于：所述上腔體的制作材料為不銹鋼、鈦或玻璃鋼。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種小孔徑長距離光學(xué)兼容真空樣品腔，其特征在于：所述窗口保護(hù)腔體的制作材料為不銹鋼、鈦或玻璃鋼。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的一種小孔徑長距離光學(xué)兼容真空樣品腔，其特征在于：所述窗口保護(hù)腔體的內(nèi)壁上安裝至少一根進(jìn)氣管，且該進(jìn)氣管作為窗口保護(hù)氣管伸入窗口保護(hù)腔體的一端與光學(xué)窗口不接觸。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種小孔徑長距離光學(xué)兼容真空樣品腔，其特征在于：所述低溫樣品桿包括有低溫恒溫器和樣品臺，低溫恒溫器由冷卻裝置和加熱裝置構(gòu)成。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種小孔徑長距離光學(xué)兼容真空樣品腔，其特征在于：所述多通道連接裝置采用四通道連接裝置，四通道連接裝置上還設(shè)有電學(xué)接口和抽真空裝置，通過電學(xué)接口與控制系統(tǒng)連接，電學(xué)接口還與低溫樣品桿的冷端的加熱裝置通過導(dǎo)線連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種小孔徑長距離光學(xué)兼容真空樣品腔，其特征在于：所述超高真空角度可調(diào)節(jié)裝置包括有調(diào)節(jié)螺母、調(diào)節(jié)螺栓、連接法蘭和波紋管，兩個連接法蘭之間夾持一根波紋管并通過三組調(diào)節(jié)螺栓、調(diào)節(jié)螺母固定。