[發明專利]顯示基板及其制造方法、顯示面板和顯示裝置

有效

• 申請號: 201610023652.6
• 申請日: 2016-01-14
• 公開（公告）號: CN105629544B
• 公開（公告）日: 2019-11-01
• 發明（設計）人: 李梁梁;郭會斌;王守坤;馮玉春
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司
• 主分類號: G02F1/1333
• 分類號: G02F1/1333
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;陳源

1.一種顯示基板，所述顯示基板包括襯底基板和設置在所述襯底基板上的導電圖形層，其特征在于，所述導電圖形層包括設置在所述襯底基板上的低反射圖形層和形成在所述低反射圖形層上的金屬圖形層，所述低反射圖形層的材料包括金屬氧化物顆粒和金屬顆粒的混合物，所述金屬氧化物通過對所述金屬圖形層的金屬材料進行氧化獲得，所述低反射圖形層直接形成在所述襯底基板的表面上，所述金屬顆粒為所述金屬圖形層的材料所形成。

2.根據權利要求1所述的顯示基板，其特征在于，所述金屬圖形層的材料為鉬、鈦、鉬合金和鈦合金中的任意一者或任意幾者。

3.根據權利要求1或2所述的顯示基板，其特征在于，所述低反射圖形層的厚度為至

4.根據權利要求1或2所述的顯示基板，其特征在于，所述顯示基板為陣列基板或觸控基板。

5.一種顯示面板，所述顯示面板包括顯示基板，其特征在于，所顯示基板為權利要求1至4中任意一項所述的顯示基板。

6.根據權利要求5所述的顯示面板，其特征在于，所述顯示基板為陣列基板，所述顯示面板還包括對盒基板、背光源和液晶層，所述對盒基板位于所述背光源和所述液晶層之間，所述液晶層設置在所述對盒基板和所述陣列基板之間。

7.根據權利要求5所述的顯示面板，其特征在于，所述顯示基板為觸控基板，所述顯示面板還包括顯示屏，所述觸控基板設置在所述顯示屏的出光面上，且所述金屬圖形層朝向所述顯示屏，所述低反射圖形層朝向所述襯底基板。

8.一種顯示裝置，所述顯示裝置包括顯示基板，其特征在于，所述顯示基板為權利要求1至4中任意一項所述的顯示基板。

9.一種制造如權利要求1至4中任意一項所述的顯示基板的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括：

提供襯底基板；

在襯底基板的表面濺射形成低反射層，濺射靶材為金屬，工藝氣體包括氧氣，以使得所述低反射層的材料包括金屬氧化物顆粒和金屬顆粒；

停止通入氧氣，繼續濺射形成金屬層；

對形成為一體的低反射層和金屬層進行圖形化，以獲得所述導電圖形層。

10.根據權利要求9所述的制造方法，其特征在于，在濺射形成低反射層的步驟中，工藝氣體還包括不與濺射靶材反應的惰性氣體。

11.根據權利要求10所述的制造方法，其特征在于，所述惰性氣體為氬氣。

12.根據權利要求11所述的制造方法，其特征在于，所述靶材的材料為鉬、鈦、鉬合金和鈦合金中的任意一者或任意幾者，在形成低反射層的步驟中，氬氣的流速為500sccm至700sccm，氧氣的流速為600sccm至800sccm。

13.根據權利要求9至12中任意一項所述的制造方法，其特征在于，所述低反射層的厚度在至之間。