[發(fā)明專利]一種基于快速響應(yīng)濕度變化的真空包裝設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610022664.7
• 申請日: 2016-01-13
• 公開（公告）號: CN105675668A
• 公開（公告）日: 2016-06-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 肖白玉
• 申請（專利權(quán)）人: 肖白玉
• 主分類號: G01N27/22
• 分類號: G01N27/22;G01N33/00
• 代理公司: 北京高航知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11530
• 代理人: 趙永強(qiáng)

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于包裝領(lǐng)域，更具體涉及一種基于快速響應(yīng)濕度變化的真空包裝設(shè)備。

背景技術(shù)

真空包裝設(shè)備能夠自動抽出包裝袋內(nèi)的空氣，亦可再充入氮?dú)饣蚱渌Ｗo(hù)氣，然后完成 封口工序。真空包裝設(shè)備常被用于食品行業(yè)等。

然而，現(xiàn)有真空包裝設(shè)備一般不具有對抽氣濕度的檢測。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明針對背景技術(shù)存在的問題，提供一種基于快速響應(yīng)濕度變化的真空包裝設(shè)備。

本發(fā)明的目的通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：

一種基于快速響應(yīng)濕度變化的真空包裝設(shè)備，其特征在于，所述真空包裝設(shè)備的柜體底 部安裝有濕敏傳感器模塊，該濕敏傳感器模塊基于碳納米管材料，能夠檢測真空包裝設(shè)備工 作過程中抽出氣體的濕度情況，根據(jù)參數(shù)對比，可以更好的促進(jìn)工作效率等。

該濕敏傳感器模塊包括從下到上依次布設(shè)的重?fù)诫s硅片、緊貼重?fù)诫s硅片的SiO₂層、碳 納米管層、位于SiO₂層間的下電極和位于碳納米管層上的上電極，所述碳納米管層生長于SiO₂層上；所述下電極上有金屬薄膜，所述金屬薄膜從內(nèi)到外依次為具有黏附性的Cr層、導(dǎo)電導(dǎo) 熱的Cu層和作為電極層的Au層，所述Cr層、Cu層和Au層的厚度依次為30nm、300nm 和300nm；所述碳納米管層采用催化劑和/或光刻法實(shí)現(xiàn)其定域生長，生長后的所述碳納米管 層采用等離子體使其產(chǎn)生羥基修飾，碳納米管層在等離子體羥基修飾之前經(jīng)過了加入微量鎢 粉的醋酸和雙氧水混合溶液的處理；所述金屬薄膜的表面緊貼有感測細(xì)菌生長的細(xì)菌酶膜層， 該細(xì)菌酶膜層與金屬薄膜一起形成感測水分的細(xì)菌濕敏感測器；所述下電極和上電極上連接 有一個用于和客戶端通信連接的微控處理器。

優(yōu)選地，所述濕敏傳感器的制作包括以下步驟：

S1：SiO₂層制作：取所述重?fù)诫s硅片，將其放入管式爐中，按照10℃/min的速率升溫 到500℃，保溫12h，然后自然冷卻至室溫，即可在重?fù)诫s硅片表面形成SiO₂層；

S2：下電極制作：將步驟S1中制得的有SiO₂層的重?fù)诫s硅片依次使用丙酮、乙醇、去 離子水清洗15min后烘干，在其表面旋涂光刻膠，使用下電極掩模版對其曝光，120℃烘干 2min后顯影、烘干，在CHF₃氣氛下干法刻蝕SiO₂層，刻蝕30min，將刻蝕SiO₂層清洗后 的重?fù)诫s硅片放入磁控濺射儀中，在低于1.5×10^-3pa真空下依次磁控濺射Cr層、Cu層和Au 層；將磁控濺射好Cr層、Cu層和Au層的下電極(1)表面固定上細(xì)菌酶膜，然后清洗光刻 膠；所述重?fù)诫s硅片的尺寸大小為2cm×2cm；

S3：氣噴催化劑薄膜，步驟如下：

a.使用Fe/Ni納米粒子作為碳納米管生長的催化劑，首先，對帶有下電極的重?fù)诫s硅片旋 涂光刻膠，采用催化劑的定域掩模版對其進(jìn)行曝光，然后經(jīng)過顯影，清洗備用；

b.配制催化劑Fe/Ni的分散液：分別稱取200mg、50mg的Fe納米粒子和Ni納米粒子， 將其加入60ml的98％H₂SO₄和40ml的69％的HNO₃混合溶液中，在80℃水浴中超聲3 h，然后用去離子水清洗后過濾，得到干燥的Fe/Ni混合納米粒子，然后稱取100mg的Fe/Ni 納米粒子，加入500ml的去離子水中，充分?jǐn)嚢韬蟮玫紽e/Ni混合納米粒子的分散液；

c.使用高純氮?dú)庾鳛闅鈬娸d體，調(diào)節(jié)噴筆與重?fù)诫s硅片之間的水平和垂直距離，使分散 液的溶劑到達(dá)基片上時剛好揮發(fā)為準(zhǔn)，氣噴5次，每次氣噴20s，使形成一層均勻的厚度約 為20nm的催化劑Fe/Ni的混合納米粒子薄膜；

S4：CVD法生長碳納米管：