[發明專利]加熱裝置

在審

• 申請號: 201610021337.X
• 申請日: 2016-01-13
• 公開（公告）號: CN106967952A
• 公開（公告）日: 2017-07-21
• 發明（設計）人: 于甄;解金庫;孔德興
• 申請（專利權）人: 張家港康得新光電材料有限公司
• 主分類號: C23C14/30
• 分類號: C23C14/30;C23C14/54
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司11240
• 代理人: 趙囡囡,吳貴明

技術領域

本發明涉及有機材料蒸鍍技術領域，具體而言，涉及一種加熱裝置。

背景技術

目前，現有技術中對有機膜料進行蒸發鍍膜時，是通過電阻加熱裝置對有機膜料進行加熱蒸發。現有技術中在通過電阻加熱裝置進行加熱時，其加熱溫度控制精度低，并且有機膜料受熱不均勻，如此會導致蒸發速率不穩定，進而導致鍍膜效果差，影響鍍膜質量。

發明內容

本發明提供一種加熱裝置，以解決現有技術中溫度控制精度低、有機膜料受熱不均勻的問題。

根據本發明提供的一種加熱裝置，用于蒸發有機膜料，加熱裝置包括第一坩堝，第一坩堝用于盛放有機膜料；第二坩堝，第二坩堝用于承載第一坩堝；電子束加熱器，電子束加熱器用于向第二坩堝發射均勻的電子束并對第二坩堝進行加熱，第二坩堝用于向第一坩堝導熱。

進一步地，第一坩堝為圓柱體。

進一步地，第一坩堝包括鍋體；蓋體，蓋體可拆卸地設置在鍋體上，蓋體上設置有多個通孔。

進一步地，多個通孔在蓋體上的分布密度由中心向四周逐漸變大。

進一步地，電子束加熱器為電子槍。

進一步地，電子束加熱器設置在第二坩堝的上方。

進一步地，電子束加熱器對第二坩堝加熱時的加熱軌跡為圓環形。

進一步地，圓環形加熱軌跡位于第一坩堝的外側。

進一步地，第一坩堝內放有金屬顆粒。

進一步地，加熱裝置還包括掩板，掩板用于遮蓋第一坩堝或第二坩堝。

應用本發明的技術方案，通過電子束加熱器對第二坩堝進行加熱，能夠對電子束加熱器的加熱溫度進行精確控制，通過第二坩堝對第一坩堝導熱，使第一坩堝加熱均勻，進而能夠使第一坩堝內的有機膜料均勻蒸發，如此可提高鍍膜質量。

附圖說明

構成本申請的一部分的說明書附圖用來提供對本發明的進一步理解，本發明的示意性實施例及其說明用于解釋本發明，并不構成對本發明的不當限定。在附圖中：

圖1示出了根據本發明實施例提供的加熱裝置的結構示意圖；

圖2示出了根據本發明實施例提供的掩板的結構示意圖。

其中，上述附圖包括以下附圖標記：

10、第一坩堝；11、鍋體；12、蓋體；13、通孔；20、第二坩堝；30、掩板；a、加熱軌跡。

具體實施方式

需要說明的是，在不沖突的情況下，本申請中的實施例及實施例中的特征可以相互組合。下面將參考附圖并結合實施例來詳細說明本發明。

如圖1和圖2所示，在本發明實施例中，提供了一種加熱裝置，用于蒸發有機膜料，加熱裝置包括第一坩堝10、電子束加熱器以及第二坩堝20。其中，為了避免在利用電子束對第一坩堝10進行加熱時，溫度過高使有機膜料分解。在本實施例中，該加熱裝置還包括第二坩堝20，第二坩堝20用于承載第一坩堝10，電子束加熱器先對第二坩堝20進行加熱，第二坩堝20加熱后將熱量傳遞至第一坩堝10，以對第一坩堝10進行加熱。電子束加熱器用于向第二坩堝20發射均勻的電子束并對第二坩堝20進行加熱，第二坩堝20通過導熱將熱量傳遞至第一坩堝10。如此便于電子束對有機膜料進行加熱，并能夠使有機膜料加熱均勻。在對有機膜料進行蒸發加熱時，通過電子束加熱器均勻、持續地對第二坩堝20加熱，第二坩堝20將熱量均勻傳遞至第一坩堝10后，第一坩堝10對盛放在第一坩堝10內的有機膜料進行加熱，當有機膜料加熱至預設溫度后開始蒸發，以進行后續鍍膜工序。其中，第一坩堝10可以為敞口坩堝或帶有蓋體的坩堝，第二坩堝20為敞口坩堝或設置為不帶側壁的盤式坩堝，如此便于承載第一坩堝10以及對第二坩堝20進行加熱。

應用本發明的技術方案，通過電子束加熱器對第二坩堝20進行加熱，能夠對電子束加熱器的加熱溫度進行精確控制，通過第二坩堝20對第一坩堝10導熱，使第一坩堝10加熱均勻，進而能夠使第一坩堝10內的有機膜料均勻蒸發，如此可提高鍍膜質量。

其中，電子束加熱器通過電子束轟擊第二坩堝20的底面以對第二坩堝20進行加熱。為了使第二坩堝20加熱均勻，可選地，將電子束加熱器對第二坩堝20加熱時的加熱軌跡設置為圓環形。