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[發明專利]一種光學元件透射反射率測量儀有效

專利信息
申請號: 201610019864.7 申請日: 2016-01-13
公開(公告)號: CN105510005B 公開(公告)日: 2019-01-15
發明(設計)人: 賈寶申;呂海兵;苗心向;周國瑞;牛龍飛;劉昊;鄒睿;李可欣 申請(專利權)人: 中國工程物理研究院激光聚變研究中心
主分類號: G01M11/02 分類號: G01M11/02
代理公司: 中國工程物理研究院專利中心 51210 代理人: 翟長明;韓志英
地址: 621999 四*** 國省代碼: 四川;51
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 光學 元件 透射 反射率 測量儀
【權利要求書】:

1.一種光學元件透射反射率測量儀,其特征在于,包括激光器(1)、斬光器(2)、分光鏡(3)、光電二極管Ⅰ(4)、光電二極管Ⅱ(5)、光電二極管Ⅲ(6)、前置放大器Ⅰ(7)、前置放大器Ⅱ(8)、前置放大器Ⅲ(9)、鎖相放大器Ⅰ(10)、鎖相放大器Ⅱ(11)、鎖相放大器Ⅲ(12)、光學元件卡具(13)、光學標準片(14)和計算機(15);

所述的激光器(1)發出的連續激光經過斬光器(2)調制成脈沖激光,調制后的脈沖激光經過分光鏡(3)分成能量相同的兩束脈沖激光,一束脈沖激光被光電二極管Ⅰ(4)接收并轉換為電信號,電信號經過前置放大器Ⅰ(7)放大和鎖相放大器Ⅰ(10)的再次放大后,直接傳輸到計算機(15);

另一束脈沖激光直接照射在放置于光學元件卡具(13)上的待測光學元件上,進而產生透射脈沖激光和反射脈沖激光,其中的反射脈沖激光被光電二極管Ⅱ(5)接收并轉換為電信號,前置放大器Ⅱ(8)接收光電二極管Ⅱ(5)產生的電信號并進行放大,放大后的電信號經過鎖相放大器Ⅱ(11)后直接傳遞給計算機(15);透射脈沖激光被光電二極管Ⅲ(6)接收并轉化為電信號,前置放大器Ⅲ(9)接收光電二極管Ⅲ(6)產生的電信號并進行放大,放大后的電信號經鎖相放大器Ⅲ(12)在再次放大后直接傳遞到計算機(15);

所述的光學元件卡具(13)用來裝卡待測光學元件和光學標準片(14),光學標準片(14)用于在測量待測光學元件之前對儀器各放大單元放大倍數的標定,所述的光學標準片(14)的反射率小于等于4%。

2.根據權利要求1所述的光學元件透射反射率測量儀,其特征在于,所述的激光器(1)產生的激光為連續激光,且輸出功率小于等于20 毫瓦。

3.根據權利要求1所述的光學元件透射反射率測量儀,其特征在于,所述的光電二極管Ⅰ(4)、光電二極管Ⅱ(5)和光電二極管Ⅲ(6)的型號相同。

4.根據權利要求1所述的光學元件透射反射率測量儀,其特征在于,所述的鎖相放大器Ⅰ(10)、鎖相放大器Ⅱ(11)和鎖相放大器Ⅲ(12)的型號相同。

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