[發明專利]一種超表面偏振調控器

有效

• 申請號: 201610019751.7
• 申請日: 2016-01-13
• 公開（公告）號: CN105511117B
• 公開（公告）日: 2018-06-26
• 發明（設計）人: 郝加明;李虎;李志偉;許昊;俞偉偉;楊名;戴寧
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海技術物理研究所
• 主分類號: G02F1/01
• 分類號: G02F1/01
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 郭英

1.一種超表面偏振調控器件，該器件包括金屬微結構層(3)、金屬薄膜層(1)、絕緣介質層(2)，其特征在于：

所述的超表面偏振調控器件由五層結構組成，器件的頂層和底層為金屬微結構層(3)，中間層為金屬薄膜層(1)，頂層、底層與中間層之間由絕緣介質層(2)隔開；頂層和底層的金屬微結構層(3)對于x軸和y軸具有周期性，對于x軸、y軸和z軸具有軸對稱性，頂層和底層的金屬微結構層(3)在x方向和y方向幾何尺度不同，整體呈現各向異性；對于x和y偏振入射電磁波，其在這兩個方向的透射波會有相位差；通過調節金屬微結構層(3)的幾何參數，其x和y偏振的透射波的相位差可覆蓋0度到360度整個相位區間；對于線偏振態的入射波，其透射波偏振態可被轉化為圓偏振，橢圓偏振，或線偏振，乃至完全偏振反轉；對于圓偏振態的入射波，其透射波偏振態可被轉化為線偏振，橢圓偏振，或左旋與右旋圓偏振之間的相互轉化；

所述的金屬微結構層(3)的厚度為40-65nm，材料為金、銀或鋁；

所述的金屬薄膜層(1)的厚度為15-25nm，材料為金、銀或鋁；

所述的絕緣介質層(2)的材料為氟化鎂，二氧化硅，氧化鋁或硫化鋅，材料為氧化鋁時的厚度為10-35nm。

2.根據權利要求1所述的一種超表面偏振調控器件，其特征在于：在所述的超表面偏振調控器件結構表面加蓋一層防止表面金屬微結構氧化的超薄介質層，超薄介質層的材料為氟化鎂，二氧化硅，氧化鋁或硫化鋅。