[發明專利]熔制石英玻璃的沉積爐

在審

• 申請號: 201610019706.1
• 申請日: 2016-01-12
• 公開（公告）號: CN105502898A
• 公開（公告）日: 2016-04-20
• 發明（設計）人: 孫元成;宋學富;杜秀蓉;張曉強;王慧
• 申請（專利權）人: 中國建筑材料科學研究總院
• 主分類號: C03B20/00
• 分類號: C03B20/00
• 代理公司: 北京鼎佳達知識產權代理事務所(普通合伙) 11348
• 代理人: 王偉鋒;劉鐵生

1.一種熔制石英玻璃的沉積爐，其特征在于，沉積爐外壁為保溫材料，內壁為耐火材料，中間夾層為電熱裝置或循環水冷卻裝置；沉積爐為分段保溫式沉積爐，從上至下分為四個部分:爐體頂段，為弧形頂蓋部分，夾層為電熱裝置；中段分為2-5個保溫段，采用電熱裝置輔助加熱，并且溫度自上而下依次降低；爐體下段夾層為循環水冷卻裝置；爐體底部為蓋板；

其中，火焰與原料從所述沉積爐頂段進入；沉積基體沿其軸線作旋轉運動，并在沉積過程中整體向下運動。

2.根據權利要求1所述的熔制石英玻璃的沉積爐，其特征在于，所述的保溫材料為耐火石棉、耐火纖維板、耐火澆注料或耐火空心球。

3.根據權利要求1所述的熔制石英玻璃的沉積爐，其特征在于，所述的耐火材料為氧化鋁、氧化鋯、碳化硅或氮化硅。

4.根據權利要求1所述的熔制石英玻璃的沉積爐，其特征在于，所述的頂段部分，電熱裝置控制溫度為1500℃-1800℃。

5.根據權利要求1所述的熔制石英玻璃的沉積爐，其特征在于，所述的爐體中段，電熱裝置控制溫度1000℃-1500℃。

6.根據權利要求1所述的熔制石英玻璃的沉積爐，其特征在于，所述的爐體下段，循環水冷卻裝置控制溫度在500℃以下。

7.根據權利要求1所述的熔制石英玻璃的沉積爐，其特征在于，所述沉積爐中段有排風口，排風口數量為1個或多個。

8.根據權利要求7所述的熔制石英玻璃的沉積爐，其特征在于，所述排風口連接抽氣裝置，控制沉積爐內壓力比大氣壓高1-50Pa。

9.根據權利要求1所述的熔制石英玻璃的沉積爐，其特征在于，所述的火焰為氫氧焰或等離子體火焰。

10.根據權利要求1所述的熔制石英玻璃的沉積爐，其特征在于，所述的原料為四氯化硅或二氧化硅顆粒。