[發(fā)明專利]一種拆卸靜電卡盤的裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610019196.8 | 申請日： | 2016-01-12 |
| 公開（公告）號： | CN106956233B | 公開（公告）日： | 2020-03-31 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 趙隆超 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | B25B27/02 | 分類號： | B25B27/02 |
| 代理公司： | 北京薈英捷創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11726 | 代理人： | 左文;段志慧 |
| 地址： | 100176 北*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 拆卸 靜電 卡盤 裝置 | ||
【權(quán)利要求書】：
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