[發明專利]非真空DLC塑料容器生產裝置

有效

• 申請號: 201610018856.0
• 申請日: 2016-01-02
• 公開（公告）號: CN105463413A
• 公開（公告）日: 2016-04-06
• 發明（設計）人: 劉南林
• 申請（專利權）人: 劉南林
• 主分類號: C23C16/50
• 分類號: C23C16/50;C23C16/27
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.非真空DLC塑料容器(17)生產裝置是采用惰性氣體(19)隔離空氣，使含碳氣體(18) 在高頻偏壓電場(29)作用下發生等離子體化學氣相沉積反應，在塑料容器(16)內壁生成 類金剛石(33)薄膜的技術設計的DLC塑料容器(17)生產裝備，其獨有的與現有技術不同 的技術特征是非真空DLC塑料容器(17)生產裝置由高頻偏壓系統、沉積系統、氣體供應系 統及控制系統四部分構成；高頻偏壓系統用于向沉積系統提供高頻偏壓電場，沉積系統用于 解決不間斷連續制造類金剛石膜(33)產品問題，氣體供應系統用于提供惰性氣體(19)隔 離空氣及提供等離子體化學氣相沉積反應所需要的原料氣體(18)，控制系統用于控制高頻偏 壓系統、沉積系統、氣體供應系統按照工藝程序運行。

2.根據權利要求1所述的高頻偏壓系統，其特征是由高頻偏壓電源(1)、圓筒形高頻偏壓電 場負極(2)、圓管形高頻偏壓電場正極(3)、圓柱形絕緣塞(4)、電刷(5)、電刷(6)、與 電刷(6)接觸的導電環(32)、及導線(30)構成；高頻偏壓電源(1)負極通過導線(30) 與位于圓環形轉動倉(8)側面的電刷(5)聯通，電刷(5)利于與轉動的圓環形轉動倉(8) 金屬外壁接觸，將高頻偏壓電源(1)負極聯通到圓筒形高頻偏壓電場負極(2)；高頻偏壓電 源(1)正極通過導線(30)與位于圓環形轉動倉(8)下方的電刷(6)聯通，電刷(6)利 于與轉動的金屬圓環(32)接觸，將高頻偏壓電源(1)正極聯通到與金屬圓環(32)連接的圓管 形高頻偏壓電場正極(3)。

3.根據權利要求1所述的沉積系統，其特征是由長方體固定倉(7)、圓環形轉動倉(8)、位 于圓環形轉動倉(8)內的圓筒形沉積倉(29)、轉軸(9)、固定于轉軸(9)上的皮帶輪(10)、 電動機(11)、支架(12)、傳動帶(13)、原料瓶(16)裝料口(14)、成品瓶(17)出料口 (15)、沉積在原料瓶(16)內壁的類金剛石膜(33)、成品倉(34)構成。

4.根據權利要求1所述的氣體供應系統，其特征是由原料氣源(18)、惰性氣體氣源(19)、 三通管(20)、進氣管(21)、轉軸(9)內置的氣體通道(22)、電絕緣充氣管(23)及導氣 管(31)構成；三通管(20)利于選擇原料氣源(18)或惰性氣體氣源(19)單獨供氣或混 合兩種氣體供氣；采用將進氣管(21)插入位于轉軸(9)軸心的氣體通道(22)，再通過與 通道(22)聯通的充氣管(23)向沉積倉(29)供氣，解決了向處于圓周運動狀態的沉積倉(29) 供氣的問題；采用電絕緣充氣管(23)利于將沉積倉(29)與生產設備絕緣。

5.根據權利要求1所述的控制系統，其特征是由控制柜(24)、原料氣源(18)控制電磁閥 (25)、惰性氣體氣源(19)控制電磁閥(26)、高頻偏壓電源(1)啟動開關(27)、電動機 (11)啟動開關(28)構成。

6.根據權利要求3所述的圓環形轉動倉(8)，其特征是圓環形轉動倉(8)內安裝有若干個 圓筒形沉積倉(29)；原料瓶(16)由位于長方體固定倉(7)頂部的裝料口(14)裝入沉積倉 (29)；電動機(11)通過傳動帶(13)帶動皮帶輪(10)轉動，固定于的轉軸(9)上的圓環 形轉動倉(8)與皮帶輪(10)同步轉動；原料瓶(16)在圓環形轉動倉(8)旋轉180度至 長方體固定倉(7)底部時，完成類金剛石膜(33)沉積過程；DLC塑料容器(17)依靠自身 重力由位于長方體固定倉(7)底部的出料口(15)自動脫離沉積倉(29)，進入成品倉(34)。