[發(fā)明專利]低溫離子植入方法及低溫離子植入機(jī)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610017577.2
• 申請日: 2016-01-12
• 公開（公告）號: CN105789033A
• 公開（公告）日: 2016-07-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 安瓦爾·侯塞因;應(yīng)子原;盛天予
• 申請（專利權(quán)）人: 漢辰科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/265
• 分類號: H01L21/265;H01J37/302;H01J37/317
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 徐偉

1.一種低溫離子植入方法，其特征在于，包含下列步驟：

將一工件預(yù)冷至一第一溫度，以符合一低溫離子植入的一工藝配方；

根據(jù)該工藝配方對該工件進(jìn)行植入；及

在該工件被送回一前開式傳送盒前，在一裝載艙后熱該工件至一第二溫 度，且該第二溫度高于該第一溫度。

2.如權(quán)利要求1所述的低溫離子植入方法，其特征在于，該第一溫度明 顯地低于一室溫；該第二溫度等于或高于一露點(diǎn)，而該露點(diǎn)是指開始將該工件 自一真空態(tài)轉(zhuǎn)換至一常態(tài)當(dāng)下的露點(diǎn)。

3.如權(quán)利要求2所述的低溫離子植入方法，其特征在于，該第一溫度等 于或低于-40℃。

4.如權(quán)利要求1所述的低溫離子植入方法，其特征在于，預(yù)冷該工件的 步驟包含：在移送該工件至符合該工藝配方的一處理室前，使用一冷卻裝置， 經(jīng)由一冷卻管路冷卻一靜電吸盤，其中該冷卻管路連接該靜電吸盤及該冷卻裝 置。

5.如權(quán)利要求1所述的低溫離子植入方法，其特征在于，預(yù)冷該工件的 步驟是在一冷卻室進(jìn)行，且該冷卻室連接符合該工藝配方的一處理室。

6.如權(quán)利要求1所述的低溫離子植入方法，其特征在于，后熱該工件的 步驟包含：使用安裝于該工藝配方的一處理室外的至少一燈管構(gòu)件加熱該工 件。

7.一種離子植入機(jī)，其特征在于，包含：

一處理室，其中在該處理室內(nèi)依一低溫離子植入的一工藝配方對一工件進(jìn) 行離子植入；

一前開式傳送盒，用以傳送一工件進(jìn)出該處理室；

一裝載艙，位于該前開式傳送盒及該處理室之間；

一冷卻模塊，能在離子植入該工件前，將該工件預(yù)冷到一第一溫度，以配 合該工藝配方；及

一加熱模塊，安裝于該裝載艙，能在該工件回到該前開式傳送盒前，后熱 該工件到一第二溫度，其中該第二溫度高于該第一溫度。

8.如權(quán)利要求7所述的離子植入機(jī)，其特征在于，該冷卻模塊更包含：

一冷卻室，與該處理室連通；

一靜電吸盤，安裝于該冷卻室，用以抓取該工件；

一冷卻裝置，裝于該冷卻室外面；及

一冷卻管路，連接該靜電吸盤及該冷卻裝置，其中該冷卻裝置經(jīng)由該冷卻 管路冷卻該靜電吸盤。

9.如權(quán)利要求8所述的離子植入機(jī)，其特征在于，該冷卻模塊更包含一 熱敏電阻，其設(shè)置于該靜電吸盤上，用以監(jiān)測該靜電吸盤的溫度。

10.如權(quán)利要求8所述的離子植入機(jī)，其特征在于，該冷卻模塊更包含一 傳感器，其設(shè)置于該冷卻室，用以偵測該工件的位置。

11.如權(quán)利要求8所述的離子植入機(jī)，其特征在于，該冷卻模塊更包含一 傳感器，其設(shè)置于該冷卻室，用以偵測該工件的出現(xiàn)。

12.如權(quán)利要求7所述的離子植入機(jī)，其特征在于，該加熱模塊安裝于該 裝載艙并形成覆蓋于該裝載艙上的一蓋體。

13.如權(quán)利要求12所述的離子植入機(jī)，其特征在于，該加熱模塊更包含：

一箱體；

一石英窗，遮蓋該箱體而形成該蓋體；及

至少一燈管構(gòu)件，安裝于該箱體及該石英窗之間。

14.如權(quán)利要求13所述的離子植入機(jī)，其特征在于，該加熱模塊更包含 一反射器，其位于該箱體的一內(nèi)表面。

15.一種低溫離子植入方法，其特征在于，包含下列步驟：

使用一冷卻裝置并經(jīng)由一冷卻管路冷卻一靜電吸盤，將一工件預(yù)冷至一第 一溫度，以配合低溫離子植入的一工藝配方，其中該冷卻管路連接于該靜電吸 盤及該冷卻裝置之間；

傳送該工件至符合該工藝配方的一處理室；

根據(jù)該工藝配方在該處理室內(nèi)對該工件進(jìn)行一離子植入；

在一裝載艙使用至少一加熱裝置加熱該工件，以后熱該工件至一第二溫 度，其中該第二溫度高于該第一溫度，且該加熱裝置安裝于該處理室之外；及

將該工件送回一前開式傳送盒。