[發(fā)明專利]一種微納器件及其制備方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610016345.5 | 申請日： | 2016-01-11 |
| 公開（公告）號： | CN105645345B | 公開（公告）日： | 2017-03-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張躍;章瀟慧;廖慶亮;關(guān)珣;張健華;蘇子佳 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京科技大學(xué) |
| 主分類號： | B81B1/00 | 分類號： | B81B1/00;B81C1/00;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京金智普華知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11401 | 代理人： | 皋吉甫 |
| 地址： | 100083*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 器件 及其 制備 方法 | ||
1.一種微納器件的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：
步驟一：對基片進(jìn)行超聲清洗并烘干；
步驟二：在所述基片上運用單原子沉積技術(shù)沉積ZnO納米顆粒，形成ZnO納米層；
步驟三：將沉積了所述ZnO納米層的基片浸沒到石墨烯量子點溶液中，在所述ZnO納米層上自組裝合成石墨烯量子點，構(gòu)成了多層混合結(jié)構(gòu)；
步驟四：通過紫外光照還原氯金酸的方法制備得到納米Au膠體；
步驟五：將所述步驟三得到的多層混合結(jié)構(gòu)浸沒到酒精溶液中，并將所述步驟四得到的所述納米Au膠體加入其中，構(gòu)成混合溶液；以及
步驟六：在紫外燈光源的照射下，用磁力攪拌機攪拌所述步驟五得到的所述混合溶液，利用光催化降解合成將所述納米Au膠體修飾到所述ZnO納米層表面，形成納米Au顆粒，形成所述微納器件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述基片選用硅片或者導(dǎo)電玻璃。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述基片的面積小于400cm2。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述ZnO納米顆粒的粒度為1-50nm，所述ZnO納米層的厚度為50-300nm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述石墨烯量子點溶液的濃度為0.5-5mg/ml。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述步驟六中的所述紫外燈光源的功率為50-500w。
7.一種微納器件，其根據(jù)權(quán)利要求1的制備方法所制備。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的微納器件，其特征在于，所述ZnO納米層的厚度為50-300nm。
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