[發明專利]一種P5000機臺BPSG工藝的改進設備

有效

• 申請號: 201610016005.2
• 申請日: 2016-01-11
• 公開（公告）號: CN105668998B
• 公開（公告）日: 2019-11-05
• 發明（設計）人: 時文禮;王劍;楊亮;李文濤
• 申請（專利權）人: 蘇州工業園區納米產業技術研究院有限公司
• 主分類號: C03B19/14
• 分類號: C03B19/14;H01L21/67
• 代理公司: 蘇州市中南偉業知識產權代理事務所(普通合伙) 32257
• 代理人: 李陽

1.一種P5000機臺BPSG工藝的改進設備，其特征在于：包括P5000機臺本體和兩個獨立的柜體，所述P5000機臺本體的上方安裝有TEOS管路，所述柜體的內部安裝有小套柜，所述小套柜呈上下兩層結構，所述小套柜的下層放置存放有液態源的鋼瓶，上層安裝有液態源輸出管路系統，所述液態源輸出管路系統與所述鋼瓶連通，還包括一液態源引出管路，所述液態源引出管路安裝在所述柜體的上方，所述液態源引出管路的一端與所述液態源輸出管路系統連接，另一端與所述TEOS管路對接，所述小套柜的下層安裝有加熱器，所述鋼瓶放置在所述加熱器中，所述液態源引出管路上包裹有加熱帶，所述柜體中安裝有控制器，所述控制器與所述P5000機臺本體通信連接，所述控制器控制所述加熱器和所述加熱帶的運作；

所述柜體四周密封，所述柜體上方安裝有排氣接口，所述排氣接口與所述柜體內部連通；

所述兩個獨立的柜體的鋼瓶中分別存放TMB和TMP液態源；

所述液態源輸出管路系統包括一進氣管路、一氮氣吹掃管路、一氣壓檢測管路和出氣管路，所述進氣管路與所述鋼瓶連接，所述氮氣吹掃管路、氣壓檢測管路和出氣管路并聯連接在所述進氣管路上；

所述進氣管路、氮氣吹掃管路、氣壓檢測管路和出氣管路上均安裝一手閥，所述氣壓檢測管路上安裝有壓力表；

所述出氣管路包括第一管路、第二管路、第三管路，所述第一管路、第二管路、第三管路并聯連接并與所述出氣管路的手閥串聯，所述第一管路的出氣口安裝有堵頭，所述第二管路、第三管路上均安裝有兩個氣閥和一個流量控制器，所述流量控制器位于所述兩個氣閥之間，所述氣閥和所述流量控制器均與所述控制器通信連接；

所述柜體的正面設有一操控面板，所述操控面板與所述控制器通信連接，所述操控面板上設有若干數據顯示區和若干操控按鈕；

所述柜體側壁可拆卸密封安裝有側邊封蓋；

所述加熱器設定的加熱保溫溫度為45攝氏度。