[發明專利]制造太陽能電池的方法

有效

• 申請號: 201610015159.X
• 申請日: 2011-07-20
• 公開（公告）號: CN105489707B
• 公開（公告）日: 2017-07-14
• 發明（設計）人: 托馬斯·帕斯;羅伯特·羅杰斯
• 申請（專利權）人: 太陽能公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司11112
• 代理人: 顧麗波,井杰

1.一種制造太陽能電池的方法，所述方法包括：

在基板的表面上形成多孔層，所述多孔層包括多個顆粒和多個空隙；

將溶液分配到所述多孔層的第一和第二區域中而不分配到第一和第二區域之間的區域中，從而獲得圖案化的復合層，其中，所述溶液包含用于所述基板的電荷載流子雜質原子的摻雜物源；

移除第一和第二區域之間的區域而不移除第一和第二區域；以及

加熱所述基板。

2.根據權利要求1所述的方法，其中加熱所述基板包括加固所述圖案化的復合層。

3.根據權利要求1所述的方法，其中分配所述溶液包括分配包含用于所述基板的電荷載流子雜質原子的摻雜物源的溶液。

4.根據權利要求3所述的方法，其中加熱所述基板包括將所述摻雜物源的所述電荷載流子雜質原子驅入所述基板。

5.根據權利要求4所述的方法，其中所述摻雜物源為用于硅的N型摻雜物源，所述方法還包括：

將第二溶液分配到所述多孔層的一個或多個其他區域中從而得到雙重圖案化的復合層，其中分配所述第二溶液包括分配包含用于所述基板的電荷載流子雜質原子的P型摻雜物源的溶液，并且其中加熱所述基板還包括將所述P型摻雜物源的所述電荷載流子雜質原子驅入所述基板中。

6.根據權利要求1所述的方法，其中在所述基板的所述表面上形成所述多孔層包括形成所述多個空隙的每個空隙以具有在所述基板的所述表面上適合接納所述溶液的尺寸并且限制所述溶液的側向擴散。

7.根據權利要求1所述的方法，其中分配所述溶液包括使用噴墨方法。

8.根據權利要求7所述的方法，其中所述溶液的粘度為10厘泊。

9.根據權利要求5所述的方法，其中分配所述溶液包括使用第一噴墨方法，以及其中分配所述第二溶液包括使用第二噴墨方法。

10.根據權利要求1所述的方法，其中在所述基板上形成所述多孔層包括在具有表面粗糙度的表面上形成所述多孔層并且與之共形，其中所述多孔層的厚度在0.5-20微米的范圍內。

11.根據權利要求1所述的方法，其中所述多孔層是固態的，并且其中形成所述多孔層包括：

以混合物形式提供所述多個顆粒和溶劑；以及

蒸發所述溶劑以從所述混合物得到所述多孔層。

12.一種制造太陽能電池的方法，所述方法包括：

在基板的表面上形成多孔層，所述多孔層包括多個顆粒和多個空隙；

將溶液分配到所述多孔層的第一和第二區域中而不分配到第一和第二區域之間的區域中，從而得到圖案化的復合層，所述溶液包含用于所述基板的電荷載流子雜質原子的摻雜物源；以及

移除第一和第二區域之間的區域而不移除第一和第二區域。

13.根據權利要求12所述的方法，其中所述摻雜物源為用于硅的N型摻雜物源，所述方法還包括：

將第二溶液分配到所述多孔層的一個或多個其他區域中從而得到雙重圖案化的復合層，其中分配所述第二溶液包括分配包含用于所述基板的電荷載流子雜質原子的P型摻雜物源的溶液。

14.根據權利要求13所述的方法，其中分配所述溶液和所述第二溶液包括在所述多孔層的單程中分配所述溶液和所述第二溶液。

15.根據權利要求13所述的方法，其中分配所述溶液和所述第二溶液包括在所述多孔層的第一程中分配所述溶液和在所述多孔層的第二單獨程中分配所述第二溶液。

16.根據權利要求12所述的方法，其中在所述基板的所述表面上形成所述多孔層包括形成所述多個空隙的每個空隙以具有在所述基板的所述表面上適合接納所述溶液的尺寸并且限制所述溶液的側向擴散。

17.根據權利要求12所述的方法，其中分配所述溶液包括使用噴墨方法。

18.根據權利要求13所述的方法，其中分配所述溶液包括使用第一噴墨方法，以及其中分配所述第二溶液包括使用第二噴墨方法。

19.根據權利要求12所述的方法，其中在所述基板上形成所述多孔層包括在具有表面粗糙度的表面上形成所述多孔層并且與之共形，其中所述多孔層的厚度在0.5-20微米的范圍內。

20.根據權利要求12所述的方法，其中所述多孔層是固態的，并且其中形成所述多孔層包括：

以混合物形式提供所述多個顆粒和溶劑；以及

蒸發所述溶劑以從所述混合物得到所述多孔層。