[發明專利]晶圓夾持機構

在審

• 申請號: 201610010992.5
• 申請日: 2016-01-05
• 公開（公告）號: CN105609462A
• 公開（公告）日: 2016-05-25
• 發明（設計）人: 許振杰;王劍;王同慶;李昆;路新春
• 申請（專利權）人: 天津華海清科機電科技有限公司;清華大學
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 黃德海

1.一種晶圓夾持機構，其特征在于，包括：

轉盤；

多個卡爪，所述多個卡爪包括至少一個活動卡爪，所述活動卡爪活動地設置在所述轉 盤上，所述卡爪用于將所述晶圓夾持在所述轉盤上；

夾持力組件，所述夾持力組件設置成用于提供給所述活動卡爪夾持所述晶圓的夾持力。

2.根據權利要求1所述的晶圓夾持機構，其特征在于，所述夾持力組件為磁性夾持力 組件，所述磁性夾持力組件設置成用于提供給所述活動卡爪夾持所述晶圓的磁性夾持力。

3.根據權利要求2所述的晶圓夾持機構，其特征在于，所述轉盤上設置有樞轉軸，所 述活動卡爪可繞所述樞轉軸轉動，所述磁性夾持力組件設置在所述樞轉軸的至少一側。

4.根據權利要求3所述的晶圓夾持機構，其特征在于，所述磁性夾持力組件包括：相 互吸引的第一磁性件和第二磁性件，所述第一磁性件設置在所述轉盤上且所述第二磁性件 設置在所述活動卡爪上，所述第一磁性件和所述第二磁性件位于所述樞轉軸和所述晶圓之 間。

5.根據權利要求4所述的晶圓夾持機構，其特征在于，所述第一磁性件和所述第二磁 性件中的一個為磁鐵且另一個為鐵質件；或者所述第一磁性件和所述第二磁性件為相對設 置且磁性不同的磁鐵。

6.根據權利要求4-5中任一項所述的晶圓夾持機構，其特征在于，所述磁性夾持力組 件還包括：相互排斥第三磁性件和第四磁性件，所述第三磁性件設置在所述活動卡爪上， 所述第四磁性件設置在所述轉盤上，所述第三磁性件和所述第四磁性件相對所述樞轉軸位 于遠離所述晶圓的一端。

7.根據權利要求6所述的晶圓夾持機構，其特征在于，所述第三磁性件和所述第四磁 性件為相對設置的同極性磁鐵。

8.根據權利要求6所述的晶圓夾持機構，其特征在于，所述轉盤包括本體和支撐座， 所述支撐座設置在所述本體的一側，所述本體上設置有用于安裝所述活動卡爪的避讓槽， 所述支撐座上設置有配合槽，所述配合槽內設置有支撐銷，所述支撐銷構成所述樞轉軸。

9.根據權利要求8所述的晶圓夾持機構，其特征在于，所述支撐座上設置有與所述活 動卡爪相對的端板，所述第四磁性件設置在所述端板上，所述第三磁性件與所述第四磁性 件相對設置。

10.根據權利要求3所述的晶圓夾持機構，其特征在于，所述活動卡爪的鄰近所述晶 圓的一端到所述樞轉軸的慣性矩小于另一端到所述樞轉軸的慣性矩。

11.根據權利要求1所述的晶圓夾持機構，其特征在于，還包括：推桿，所述推桿適 于驅動所述活動卡爪解除對所述晶圓的夾持。

12.根據權利要求1所述的晶圓夾持機構，其特征在于，所述多個卡爪還包括：至少 一個固定卡爪，所述至少一個固定卡爪固定在所述轉盤上。

13.根據權利要求12所述的晶圓夾持機構，其特征在于，所述固定卡爪的數量為a， 所述活動卡爪的數量為b，a+b≥3。

14.根據權利要求1所述的晶圓夾持機構，其特征在于，兩個相鄰的所述卡爪所對應 的圓心角小于180°。