[發明專利]一種單芯片溫度分布探測傳感器有效
| 申請號： | 201610009590.3 | 申請日： | 2016-01-08 |
| 公開（公告）號： | CN106959165B | 公開（公告）日： | 2019-07-16 |
| 發明（設計）人： | 費躍;王旭洪;張穎 | 申請（專利權）人： | 上海新微技術研發中心有限公司 |
| 主分類號： | G01J5/12 | 分類號： | G01J5/12 |
| 代理公司： | 北京知元同創知識產權代理事務所(普通合伙) 11535 | 代理人： | 劉元霞 |
| 地址： | 201800 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 芯片 溫度 分布 探測 傳感器 | ||
【說明書】：
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