[發明專利]一種LCOS結構及制造方法

在審

• 申請號: 201610009573.X
• 申請日: 2016-01-08
• 公開（公告）號: CN105467638A
• 公開（公告）日: 2016-04-06
• 發明（設計）人: 杜永群;柳冬冬
• 申請（專利權）人: 豪威半導體（上海）有限責任公司
• 主分類號: G02F1/133
• 分類號: G02F1/133;G03B21/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 余毅勤

1.一種LCOS結構，其特征在于，包括：

前端結構，所述前端結構中形成有光電二極管；

開關電路模塊和光能轉換電路模塊，所述開關電路模塊和所述光能轉換電 路模塊交替排列設置于所述前端結構上，且與所述光電二極管相連接；

液晶材料層，所述液晶材料層設置于所述開關電路模塊和所述光能轉換電 路模塊之上，且所述液晶材料層具有溝槽，所述溝槽暴露出所述光能轉換電路 模塊；

第一太陽能電池材料層，所述第一太陽能電池材料層設置于所述溝槽中， 且與所述光能轉換電路模塊相連接；

蓋層，所述蓋層設置于所述第一太陽能電池材料層和所述液晶材料層上。

2.根據權利要求1所述的LCOS結構，其特征在于，所述LCOS結構還包 括第二太陽能電池材料層，所述光能轉換電路模塊的高度低于所述開關電路模 塊的高度，所述第二太陽能電池材料層設置于在所述光能轉換電路模塊和所述 開關電路模塊因高度差而形成的區域中。

3.根據權利要求1所述的LCOS結構，其特征在于，所述光能轉換電路模 塊和所述開關電路模塊的高度差為

4.根據權利要求1-3任一項所述的LCOS結構，其特征在于，所述液晶材 料層包括像素區域和包圍所述像素區域的外圍空置區域，所述像素區域包含多 個像素單元，所述多個像素單元由填充于所述溝槽中的第一太陽能電池材料層 間隔設置，所述外圍空置區域中填充有所述第一太陽能電池材料層。

5.根據權利要求4所述的LCOS結構，其特征在于，相鄰所述像素單元的 間距為0.1-0.5μm。

6.根據權利要求4所述的LCOS結構，其特征在于，所述溝槽的面積為所 述液晶材料層面積的8-15％。

7.根據權利要求4所述的LCOS結構，其特征在于，所述外圍空置區域的 面積為所述液晶材料層面積的10-20％。

8.一種權利要求1-7任一項所述的LCOS結構的制造方法，其特征在于， 包括如下步驟：

提供前端結構，所述前端結構中形成有光電二極管；

在所述前端結構上形成開關電路模塊和光能轉換電路模塊，所述開關電路 模塊和光能轉換電路模塊交替排列，且與所述光電二極管相連接的；

在所述開關電路模塊和光能轉換電路模塊之上形成液晶材料層，且所述液 晶材料層具有溝槽，所述溝槽暴露出所述光能轉換電路模塊；

在所述溝槽中形成第一太陽能電池材料層，所述第一太陽能電池材料層與 所述光能轉換電路模塊相連接；以及

在所述第一太陽能電池材料層和所述液晶材料層上形成蓋層。

9.根據權利要求8所述的LCOS結構的制造方法，其特征在于，還包括形 成第二太陽能電池材料層；所述光能轉換電路模塊的高度低于所述開關電路模 塊的高度，所述第二太陽能電池材料層形成于在所述光能轉換電路模塊和所述 開關電路模塊因高度差而形成的區域中。

10.根據權利要求8或9所述的LCOS結構的制造方法，其特征在于，所 述液晶材料層包括像素區域和包圍所述像素區域的外圍空置區域，所述像素區 域具有溝槽，在所述溝槽和所述外圍空置區域中形成第一太陽能電池材料層。