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[發(fā)明專利]三維集成電路結(jié)構(gòu)及其制造方法有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201610009113.7 申請日: 2016-01-07
公開(公告)號: CN106469717B 公開(公告)日: 2019-04-02
發(fā)明(設(shè)計)人: 蔡文景;陳明發(fā);余振華 申請(專利權(quán))人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
主分類號: H01L25/04 分類號: H01L25/04;H01L23/528;H01L21/50
代理公司: 北京德恒律治知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11409 代理人: 章社杲;李偉
地址: 中國臺*** 國省代碼: 中國臺灣;71
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 三維集成電路 結(jié)構(gòu) 及其 制造 方法
【說明書】:
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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實用新型專利、外觀設(shè)計專利(升級中);

3、專利數(shù)據(jù)每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、內(nèi)容包括專利技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖流程工藝圖技術(shù)構(gòu)造圖

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