[發明專利]一種堿性感光聚合顯影分泌物清洗劑及其制備方法

在審

• 申請號: 201610007771.2
• 申請日: 2016-01-04
• 公開（公告）號: CN105467783A
• 公開（公告）日: 2016-04-06
• 發明（設計）人: 舒緒剛;石宗武
• 申請（專利權）人: 仲愷農業工程學院;深圳市點石源水處理技術有限公司
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42
• 代理公司: 廣州三環專利代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;宋靜娜

1.一種堿性感光聚合顯影分泌物清洗劑，其特征在于，所述清洗劑包括以 下組分：堿、有機溶劑、表面活性劑、緩蝕劑、消泡劑、香精和水。

2.根據權利要求1所述的清洗劑，其特征在于，所述堿的重量占所述清洗 劑總重量的20～40％。

3.根據權利要求1所述的清洗劑，其特征在于，所述有機溶劑的重量占所 述清洗劑總重量的25～35％。

4.根據權利要求1所述的清洗劑，其特征在于，所述表面活性劑的重量占 所述清洗劑總重量的1.0～1.5％，所述緩蝕劑的重量占所述清洗劑總重量的0.3～ 0.5％，所述消泡劑的重量占所述清洗劑總重量的0.1～0.2％，所述香精的重量占 所述清洗劑總重量的0.1～0.2％。

5.根據權利要求1所述的清洗劑，其特征在于，所述堿為無機堿或無機堿 和有機堿的混合物。

6.根據權利要求1所述的清洗劑，其特征在于，所述無機堿為氫氧化鈉、 氫氧化鉀、碳酸氫鈉和氨水中的至少一種，所述有機堿為三乙胺、三乙烯二胺 和四甲基乙二胺中的至少一種。

7.根據權利要求1所述的清洗劑，其特征在于，所述有機溶劑為乙二胺、 丙酮、甲酸乙酯、二甘醇和乙醚中的至少一種。

8.根據權利要求1所述的清洗劑，其特征在于，所述表面活性劑為OP-10 和NP-9中的至少一種，所述緩蝕劑為四氫呋喃和咪唑中的至少一種,所述的消泡 劑為聚醚-硅氧烷共聚物。

9.一種如權利要求1-8任一所述的清洗劑的制備方法，其特征在于，所述 方法包括如下步驟：

(1)將堿溶于有機溶劑中；

(2)在步驟(1)得到的混合液中添加表面活性劑，攪拌至均勻；

(3)在步驟(2)得到的混合液中添加緩蝕劑，攪拌至均勻；

(4)在步驟(3)得到的混合液中添加消泡劑，攪拌至均勻；

(5)在步驟(4)得到的混合液中添加香精，攪拌至均勻，得到所述堿性 感光聚合物顯影分泌物清洗劑。

10.如權利要求1所述的清洗劑在電路板、太陽能面板、液晶面板或不銹 鋼蝕刻加工工藝中的用途。