[發明專利]一種三坐標四自由度衍射光強測量平臺

有效

• 申請號: 201610007023.4
• 申請日: 2016-01-07
• 公開（公告）號: CN105527019B
• 公開（公告）日: 2018-01-23
• 發明（設計）人: 張立國;徐婧;金梅;劉曉飛;劉寧
• 申請（專利權）人: 燕山大學
• 主分類號: G01J1/04
• 分類號: G01J1/04;G09B23/22
• 代理公司: 秦皇島一誠知識產權事務所(普通合伙)13116
• 代理人: 李合印

1.一種三坐標四自由度衍射光強測量平臺，其特征在于：它包括底座(1)、X軸機構(2)、Y軸機構(3)、Z軸機構(4)、旋轉機構(5)和光強檢測器，X軸機構(2)安裝在底座(1)上，Y軸機構(3)安裝在X軸機構(2)上，Z軸機構(4)安裝在Y軸機構(3)上、旋轉機構(5)安裝在Z軸機構(4)上，光強檢測器安裝在旋轉機構(5)上；

所述的X軸機構(2)包括：X軸底座(201)、X軸電機支架(202)、X軸伺服電機(203)、X軸聯軸器(204)、X軸絲杠(205)、Y軸聯接支架(206)、X軸導軌滑塊(207)和X軸導軌(208)；X軸電機支架(202)安裝在X軸底座(201)上，X軸伺服電機(203)通過X軸聯軸器(204)聯接X軸絲杠(205)并安裝在X軸電機支架(202)上；X軸絲杠(205)穿過Y軸聯接支架(206)并與其螺紋聯接；X軸導軌(208)安裝在X軸底座(201)上，X軸導軌滑塊(207)安裝在X軸導軌(208)上并能沿其滑動，Y軸聯接支架(206)安裝在X軸導軌滑塊(207)上帶動直線X軸導軌滑塊(207)做直線運動；所述的Y軸機構(3)安裝在Y軸聯接支架(206)上；

所述的Y軸機構(3)包括：Y軸底座(301)、Y軸電機支架(302)、Y軸伺服電機(303)、Y軸聯軸器(304)、Y軸絲杠(305)、Z軸聯接支架(306)、Y軸導軌滑塊(307)和Y軸導軌(308)；Y軸電機支架(302)安裝在Y軸底座(301)上，Y軸伺服電機(303)通過Y軸聯軸器(304)聯接Y軸絲杠(305)并安裝在Y軸電機支架(302)上；Y軸絲杠(305)穿過Z軸聯接支架(306)并與其螺紋聯接；Y軸導軌(308)安裝在Y軸底座(301)上，Y軸導軌滑塊(307)安裝在Y軸導軌(308)上并能沿其滑動，Z軸聯接支架(306)安裝在Y軸導軌滑塊(307)上帶動直線Y軸導軌滑塊(307)做直線運動；所述的Z軸機構(4)安裝在Z軸聯接支架(306)上；

所述的Z軸機構(4)包括：Z軸底座(401)、Z軸電機支架(402)、Z軸伺服電機(403)、Z軸聯軸器(404)、Z軸絲杠(405)、旋轉機構聯接支架(406)、Z軸導軌滑塊(407)和Z軸導軌(408)；Z軸電機支架(402)安裝在Z軸底座(401)上，Z軸伺服電機(403)通過Z軸聯軸器(404)聯接Z軸絲杠(405)并安裝在Z軸電機支架(402)上；Z軸絲杠(405)穿過旋轉機構聯接支架(406)并與其螺紋聯接；Z軸導軌(408)安裝在Z軸底座(401)上，Z軸導軌滑塊(407)安裝在Z軸導軌(408)上并能沿其滑動，旋轉機構聯接支架(406)安裝在Z軸導軌滑塊(407)上帶動直線Z軸導軌滑塊(407)做直線運動；所述的旋轉機構(5)安裝在旋轉機構聯接支架(406)上；

所述的旋轉機構(5)包括：旋轉機構電機支架(501)、旋轉機構伺服電機(502)、旋轉機構聯軸器(503)、旋轉機構傳動軸(504)、旋轉機構擋圈軸套(505)和檢測器聯接支架(506)；旋轉機構電機支架(501)安裝在旋轉機構聯接支架(506)上，旋轉機構伺服電機(502)安裝在旋轉機構電機支架(501)上，旋轉機構伺服電機(502)通過旋轉機構聯軸器(503)聯接旋轉機構傳動軸(504)，旋轉機構擋圈軸套(505)安裝在旋轉機構傳動軸(504)上；檢測器聯接支架(506)安裝在旋轉機構傳動軸(504)上并與旋轉機構擋圈軸套(505)固連在一起，隨旋轉機構擋圈軸套(505)一起做旋轉運動，旋轉角度大于180度；衍射光強檢測器安裝在檢測器聯接支架(506)上。