[發明專利]壓印裝置及物品的制造方法

有效

• 申請號: 201610006914.8
• 申請日: 2016-01-05
• 公開（公告）號: CN105759565B
• 公開（公告）日: 2019-11-29
• 發明（設計）人: 服部正
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00
• 代理公司: 11293 北京怡豐知識產權代理有限公司
• 代理人: 遲軍<國際申請>=<國際公布>=<進入國

1.一種通過使用模具在基板上形成壓印材料的圖案的壓印裝置，所述壓印裝置包括：

臺，其被構造為在保持所述基板的情況下能夠沿底座的面移動；

驅動單元，其被構造為在所述臺布置在所述底座的第一位置的狀態下，相對地驅動所述模具和所述基板，以使所述模具與所述基板上的壓印材料彼此接觸，其中，布置在所述第一位置的所述臺位于所述模具的下方；

測量單元，其被構造為在所述臺布置在所述底座的與所述第一位置不同的第二位置的狀態下，測量由所述臺保持的所述基板的傾斜，其中布置在所述第二位置的臺不位于所述模具的下方；以及

控制單元，其被構造為當在所述臺布置在所述第一位置的狀態下使所述模具與所述壓印材料接觸時，基于表示在所述第一位置的所述基板的傾斜與在所述第二位置的所述基板的傾斜之間的差的信息，以及所述測量單元的測量結果，來控制所述模具與所述基板之間的相對傾斜。

2.根據權利要求1所述的壓印裝置，其中，所述控制單元基于通過使所述模具與所述基板上的多個點中的各個點接觸而獲得的所述多個點的高度，來確定在所述臺布置在所述第一位置的狀態下所述基板的傾斜，并且

基于在所述臺布置在所述第一位置的狀態下所確定的所述基板的傾斜和在所述臺布置在所述第二位置的狀態下由所述測量單元測量的所述基板的傾斜，來生成所述信息。

3.根據權利要求2所述的壓印裝置，其中，所述控制單元基于通過使所述驅動單元相對地驅動所述模具和所述基板以使所述模具與所述基板上的多個點中的各個點接觸而獲得的移動量，來獲得所述多個點的高度。

4.根據權利要求1所述的壓印裝置，其中，所述測量單元通過在所述臺布置在所述第二位置的狀態下，檢測所述基板上的多個點中的各個點的高度，來測量所述基板的傾斜。

5.根據權利要求1所述的壓印裝置，其中，所述控制單元將在所述第一位置的所述基板的傾斜與由所述測量單元在所述第二位置測量的所述基板的傾斜之間的差確定為校正值，并且

基于通過使用所述校正值校正所述測量單元的測量結果而獲得的值，來控制當在所述臺布置在所述第一位置的狀態下使所述模具與所述壓印材料接觸時的相對傾斜。

6.根據權利要求5所述的壓印裝置，其中，所述控制單元根據所述基板上的位置，來確定所述校正值。

7.根據權利要求5所述的壓印裝置，其中，所述控制單元通過使用包括多個基板的批量的第一基板，來確定所述校正值。

8.根據權利要求1所述的壓印裝置，所述壓印裝置還包括：

第二測量單元，其被構造為測量所述模具的圖案面的傾斜，

其中，所述控制單元還基于由所述第二測量單元獲得的測量結果，來控制當在所述臺布置在所述第一位置的狀態下使所述模具與所述壓印材料接觸時的相對傾斜。

9.根據權利要求8所述的壓印裝置，

其中，所述第二測量單元配設在所述臺上，并且通過在被所述臺移動的狀態下檢測所述圖案面上的多個部分中的各個的高度，來測量所述圖案面的傾斜。

10.一種通過使用模具在基板上形成壓印材料的圖案的壓印裝置，所述壓印裝置包括：

驅動單元，其被構造為相對地驅動所述模具和所述基板，以使所述模具與所述基板彼此接觸，

控制單元，其被構造為：

基于通過使所述驅動單元相對地驅動所述模具和所述基板以使所述模具與所述基板上的多個點中的各個點接觸而獲得的驅動量，來獲得所述基板上的多個點的高度，并且

基于獲得的高度來控制當使所述模具與所述壓印材料接觸時的所述基板的傾斜。

11.一種物品的制造方法，所述物品的制造方法包括以下步驟：

使用壓印裝置在基板上形成圖案；以及

對形成有所述圖案的所述基板進行處理以制造所述物品，

其中，所述壓印裝置通過使用模具在基板上形成壓印材料的圖案，并且所述壓印裝置包括：

臺，其被構造為在保持所述基板的情況下能夠沿底座的面移動；

驅動單元，其被構造為在所述臺布置在所述底座的第一位置的狀態下，相對地驅動所述模具和所述基板，以使所述模具與所述基板上的壓印材料彼此接觸，其中，布置在所述第一位置的所述臺位于所述模具的下方；

測量單元，其被構造為在所述臺布置在所述底座的與所述第一位置不同的第二位置的狀態下，測量由所述臺保持的所述基板的傾斜，其中布置在所述第二位置的臺不位于所述模具的下方；以及

控制單元，其被構造為當在所述臺布置在所述第一位置的狀態下使所述模具與所述壓印材料接觸時，基于表示在所述第一位置的所述基板的傾斜與在所述第二位置的所述基板的傾斜之間的差的信息，以及所述測量單元的測量結果，來控制所述模具與所述基板之間的相對傾斜。