[發明專利]一種全視場低頻外差干涉儀

在審

• 申請號: 201610006911.4
• 申請日: 2016-01-05
• 公開（公告）號: CN105571516A
• 公開（公告）日: 2016-05-11
• 發明（設計）人: 李楊;張文喜;相里斌;伍洲;孔新新;呂笑宇;劉志剛;郭曉麗
• 申請（專利權）人: 中國科學院光電研究院
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24
• 代理公司: 北京凱特來知識產權代理有限公司 11260
• 代理人: 鄭立明;鄭哲

1.一種全視場低頻外差干涉儀，其特征在于，包括：激光器、1/2波片、第一與第二 偏振分光鏡、第一與第二聲光移頻器、第一與第二反射鏡、分光棱鏡、空間濾波器、準 直鏡、第一與第二1/4波片、偏振片、參考鏡、標準透鏡、偏振片、成像鏡與探測器；其 中：

所述激光器出射激光經過1/2波片與偏振分光鏡分為偏振方向相互垂直的兩束光；其 中一束光依次經由第一反射鏡與第一聲光移頻器射入分光棱鏡；另一束光依次經由第二 聲光移頻器與第二反射鏡射入分光棱鏡；

兩束光經所述分光棱鏡進行合束，合束后的光束經過空間濾波器濾波，并被準直鏡 準直后進入第二偏振分光棱鏡進行分束；其中一束光透射而出作為測量光，經過第一1/4 波片與標準透鏡后照射至被測樣品鏡面，并被反射按照原路返回；另一束光被第二偏振 分光棱鏡反射而出作為參考光，經過第二1/4波片后射入參考鏡，并被反射按照原路返 回；

被反射按照原路返回的測量光與參考光再次射入第二偏振分光鏡后合束為一束光， 再經過一個偏振片使兩束光在同一偏振方向的強度分量進行相干，并通過成像鏡后在面 陣探測器上得到干涉條紋圖像。

2.根據權利要求1所述的一種全視場低頻外差點衍射干涉儀，其特征在于，面陣探 測器上一點采集的隨時間t變化的干涉信號S(t)表示為：

S(t)=2E+2E cos[2π(v1-v2)t+2×2πv1(L+R)c];]]>

其中，E表示兩束光的光強，ν₁與ν₂分別表示經過第一與第二聲光頻移器調頻后的光 束頻率，R為被測樣品鏡面粗糙的起伏量，c為光速，L為測量光往測樣品鏡面時相對于 參考光多走的光程。