[發明專利]一種指紋識別裝置及其制作方法、陣列基板、顯示裝置

有效

• 申請號: 201610006717.6
• 申請日: 2016-01-05
• 公開（公告）號: CN105550662B
• 公開（公告）日: 2019-03-15
• 發明（設計）人: 李昌峰;董學;陳小川;王海生;劉英明;楊盛際;丁小梁;趙衛杰;劉偉;王鵬鵬;王磊;盧鵬程;龍君
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G06K9/00
• 分類號: G06K9/00;H01L27/12
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

1.一種指紋識別裝置，其特征在于，包括第一柵線和讀取信號線，所述第一柵線和所述讀取信號線交叉界定多個指紋識別單元，每個指紋識別單元中設置有光敏器件和第一晶體管；

所述光敏器件包括第一電極層，以及依次位于所述第一電極層表面第一摻雜半導體層、第二摻雜半導體層以及第二電極層；所述第一電極層與所述第二電極層之間用于形成電場；所述第一摻雜半導體層和所述第二摻雜半導體層之間形成PN結；

所述第一晶體管的柵極連接所述第一柵線，所述第一晶體管的第一極連接所述讀取信號線，所述第一晶體管的第二極與所述第二電極層相連接；

所述光敏器件還包括位于所述第一摻雜半導體層與所述第二摻雜半導體層之間的耗盡層。

2.根據權利要求1所述的指紋識別裝置，其特征在于，所述耗盡層與所述第一晶體管的有源層同層同材料。

3.根據權利要求1所述的指紋識別裝置，其特征在于，

所述第一電極層與所述第一晶體管的柵極的同層同材料。

4.根據權利要求1所述的指紋識別裝置，其特征在于，

構成所述第二電極層的材料包括透明導電材料。

5.根據權利要求1所述的指紋識別裝置，其特征在于，還包括與所述第一柵線平行的電極信號線，所述電極信號線與所述第一電極層相連接，用于向所述第一電極層提供電信號。

6.根據權利要求1所述的指紋識別裝置，其特征在于，所述第一電極層的厚度為10nm-100nm。

7.根據權利要求1所述的指紋識別裝置，其特征在于，所述第一摻雜半導體層或所述第二摻雜半導體層的厚度為20nm-70nm。

8.根據權利要求2所述的指紋識別裝置，其特征在于，所述耗盡層的厚度為500nm-1500nm。

9.根據權利要求1所述的指紋識別裝置，其特征在于，所述第二電極層的厚度為10nm-500nm。

10.一種陣列基板，其特征在于，包括如權利要求1-9任一項所述的指紋識別裝置。

11.根據權利要求10所述的陣列基板，其特征在于，包括顯示區域，指紋識別裝置設置于所述顯示區域。

12.根據權利要求11所述的陣列基板，其特征在于，所述顯示區域包括多個亞像素，一個所述亞像素內設置有一個指紋識別單元。

13.根據權利要求11所述的陣列基板，其特征在于，所述顯示區域包括構成像素單元的第一顏色亞像素、第二顏色亞像素、第三顏色亞像素以及白色亞像素；所述第一顏色、第二顏色以及所述第三顏色構成三基色；

所述白色亞像素內設置有指紋識別單元。

14.根據權利要求11所述的陣列基板，其特征在于，包括橫縱交叉的第二柵線和數據線；

第一柵線與所述第二柵線相平行，讀取信號線與所述數據線相平行。

15.根據權利要求10所述的陣列基板，其特征在于，包括周邊區域，所述指紋識別裝置位于所述周邊區域。

16.一種顯示裝置，其特征在于，包括如權利要求10-15任一項所述的陣列基板。

17.一種指紋識別裝置的制作方法，其特征在于，包括：

在襯底基板上形成第一晶體管的柵極、第一柵線以及第一電極層；

在形成有所述第一晶體管的柵極、所述第一柵線以及所述第一電極層的基板表面，形成所述第一晶體管的柵極絕緣層；

在形成有所述柵極絕緣層的基板表面，形成第一摻雜半導體層；

在形成有所述第一摻雜半導體層的基板表面，形成所述第一晶體管的有源層；

在形成有所述第一晶體管的有源層的基板表面，形成讀取信號線、所述第一晶體管的第一極和第二極；所述第一晶體管的第一極與所述讀取信號線相連接；

在形成有所述讀取信號線、所述第一晶體管的第一極和第二極的基板表面，形成第二摻雜半導體層；

在形成有所述第一晶體管的第一極和第二極的基板表面，形成鈍化層，以及在所述鈍化層表面對應所述第一晶體管第二極的位置形成過孔；

在形成所述第二摻雜半導體層的基板表面，形成第二電極層，所述第二電極層通過所述過孔與所述第一晶體管的第二極相連接；

在形成有所述第一摻雜半導體層的基板表面，形成所述第一晶體管的有源層的同時，形成位于所述第一摻雜半導體層表面的耗盡層。