[發明專利]用于修整拋光墊的方法

在審

• 申請號: 201610006176.7
• 申請日: 2016-01-05
• 公開（公告）號: CN105773422A
• 公開（公告）日: 2016-07-20
• 發明（設計）人: V·杜奇克;T·奧爾布里希;L·米斯圖爾;M·施納普奧夫
• 申請（專利權）人: 硅電子股份公司
• 主分類號: B24B53/017
• 分類號: B24B53/017;B24B37/24
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 蔡洪貴

1.一種用于利用至少一個修整器(4)修整一塊拋光布或同時修整兩塊 拋光墊(11、12)的方法，其中，已將所述拋光布(11、12)施加于拋光 板(21、22)，所述至少一個修整器(4)配備有至少一個修整元件(8)， 所述至少一個修整元件(8)與待修整的至少一塊拋光布(11、12)相接觸， 其中，使所述至少一塊拋光板(21、22)以相對旋轉速度旋轉，使所述至 少一個修整器(4)以相對旋轉速度旋轉，并且在同時修整兩塊拋光墊(11、 12)的期間實現兩對拋光板(21、22)和針輪(31、32)的旋轉方向的至 少兩種不同的組合，或者在修整所述拋光板(21)的一塊拋光布(11)的 期間實現所述拋光布(11)和所述至少一個修整器(4)的旋轉方向的至少 兩種不同的組合。

2.根據權利要求1所述的方法，其中，在同時修整兩塊拋光墊(11、12) 時，通過包括內部齒輪(31)和外部齒輪(32)的滾動裝置使所述至少一 個修整器(4)旋轉。

3.根據權利要求2所述的方法，其中，使所述拋光板(21、22)分別沿 著相反的旋轉方向(ω21、ω22)旋轉，和/或使所述針輪(31、32)分別沿 著相反的旋轉方向(ω31、ω32)旋轉。

4.根據權利要求2所述的方法，其中，使所述兩對拋光板(21、22)和 針輪(31、32)中的至少一對的旋轉方向(ω21、ω22、ω31、ω32)在所述 修整期間至少反向一次。

5.根據權利要求2所述的方法，其中，使所述兩對拋光板(21、22)和 針輪(31、32)中的僅一對的旋轉方向(ω21、ω22、ω31、ω32)在所述修 整期間同時反向。

6.根據權利要求1所述的方法，其中，當僅修整一塊拋光布(11)時， 至少使所述拋光板(21)的旋轉方向(ω21)或所述修整器(4)的旋轉方 向(ω4)反向一次。

7.根據權利要求1所述的方法，其中，當僅修整一塊拋光布時，至少使 所述拋光板(21)的旋轉方向(ω21)和所述修整器(4)的旋轉方向(ω4) 反向一次。

8.根據前述權利要求中的任一項所述的方法，其中，將覆蓋有一個或多 個修整元件(8)的盤或環用作修整器(4)

9.根據前述權利要求中的任一項所述的方法，其中，所述修整元件(8) 具有覆蓋有金剛石的表面。

10.根據前述權利要求中的任一項所述的方法，其中，同時使用一個至 五個修整器(4)。

11.根據前述權利要求中的任一項所述的方法，其中，同時使用至少三 個修整器(4)。

12.根據前述權利要求中的任一項所述的方法，其中，所述拋光墊(11、 12)為泡沫拋光墊。

13.根據權利要求12所述的方法，其中，將由聚氨酯形成的拋光墊用作 泡沫拋光墊。

14.根據權利要求2或3所述的方法，其中，將所述上部拋光板(22) 和所述下部拋光板(21)的彼此面對的表面設定成是彼此平面平行的。

15.根據權利要求2、3或14所述的方法，其中，所述修整器(4)具有 間隙，并且在這些間隙中，設有能夠自由移動的和/或固定的修整元件(8)。

16.根據前述權利要求中的任一項所述的方法，其中，在修整期間將修 整劑、尤其是液體施加于所述拋光墊(11、12)。