[發明專利]一種基板承載裝置

有效

• 申請號: 201610005899.5
• 申請日: 2016-01-04
• 公開（公告）號: CN105572925B
• 公開（公告）日: 2018-09-25
• 發明（設計）人: 井楊坤
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;合肥京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13
• 代理公司: 北京鼎佳達知識產權代理事務所(普通合伙) 11348
• 代理人: 王偉鋒;劉鐵生

本發明涉及液晶顯示器設計制造技術領域，尤其涉及一種基板承載裝置。本發明提供的基板承載裝置，包括基臺及設于基臺上的壓合吸附機構和粘性吸附機構，粘性吸附機構由粘性材料制成，壓合吸附機構用于使基板壓緊粘性吸附機構。在使用機械手將基板放置基臺上時，通過壓合吸附機構吸附基板，并將基板壓緊在粘性吸附機構上，由粘性材料制成的粘性吸附機構通過分子間作用力對基板進行吸附，將基板固定在基臺上，解決了使用夾持器進行固定帶來的基板變形的、基板上鍍膜的均勻性較差的問題；與傳統的使用三角夾持器的固定方式相比，對于基板的固定更加穩定牢固，基板的形變量更低，鍍膜的均一度得到很大的提高，同時也解決了基板變形脫落的缺陷。

技術領域

本發明涉及液晶顯示器設計制造技術領域，尤其涉及一種基板承載裝置。

背景技術

目前在液晶顯示器領域，對于基板的濺射一般均采用豎式濺射法，其節省運轉空間且濺射速度快。然而，目前的玻璃基板屬于超薄基板，只有0.5mm甚至于0.4或0.3mm，由于玻璃基板很薄，并且濺射腔內在基板的濺射時是處于真空狀態的，因此無法利用真空吸附；目前用于運輸基板的承載裝置主要利用夾具將玻璃基板夾在裝置內，然而使用夾持器將基板固定在承載裝置上容易出現基板變形的問題，使得基板上鍍膜的均勻性較差，影響基板的質量；另外使用夾持器固定基板，基板在運輸過程中容易晃動，存在脫落的風險，并且在基板厚度、變形有較大余量或間隙的情況下也很容易出現基板掉落的問題，若增大夾持器的加持能力，將很容易損壞基板，基板會出現碎片的可能。

發明內容

(一)要解決的技術問題

本發明要解決的技術問題是：傳統采用夾持器固定基板的方式存在基板變形、脫落的風險，因此需要提供一種能夠增加基板固定穩定性的基板承載裝置。

(二)技術方案

為了解決上述技術問題，本發明提供了一種基板承載裝置，包括基臺及設于基臺上的壓合吸附機構和粘性吸附機構，所述粘性吸附機構由粘性材料制成，所述壓合吸附機構用于使基板壓緊粘性吸附機構。

可選地，所述壓合吸附機構為真空吸附組件。

可選地，所述基臺上設有多個通孔，所述粘性吸附機構為多個能夠穿過所述通孔的粘性吸頭，所述粘性吸頭的下端設有由粘性材料構成的吸盤。

可選地，所述吸盤的下表面上設有一圈凸起，所述凸起與吸盤的下表面之間構成吸附腔，所述真空吸附組件包括設于所述粘性吸頭內并與所述吸附腔連通的真空管道。

可選地，所述基臺上設有多個通孔，所述粘性吸附機構為設于基臺表面的第一粘性吸附層，所述第一粘性吸附層上對應設有多個通孔，所述真空吸附組件包括支撐架和能夠穿過所述通孔的真空管，所述真空管靠近第一粘性吸附層的一端設有真空吸頭，另一端與支撐架相連。

可選地，還包括用于將基板從基臺上剝離的剝離頂針，所述基臺上設有供所述剝離頂針穿過的通孔。

可選地，還包括位于支撐架與基臺之間的支撐座，所述剝離頂針固定在所述支撐座上，且所述支撐座上還設有供所述真空管道穿過的通孔。

可選地，所述第一粘性吸附層的表面設有多個第一吸附凸塊。

可選地，所述粘性吸附機構為設于基臺上的第二粘性吸附層，所述壓合吸附機構為設于基臺與第二粘性吸附層之間的靜電吸附層。

可選地，所述靜電吸附層由金屬電極材料制成。

可選地，在所述靜電吸附層和第二粘性吸附層之間還設有壓力測量層，所述壓力測量層用于測量靜電吸附層對于基板的吸附力。

可選地，所述第二粘性吸附層為設于基臺表面的多個由粘性材料制成的第二吸附凸塊，多個所述第二吸附凸塊的上表面位于同一平面內。

可選地，所述粘性材料為丁腈橡膠。