[發(fā)明專利]一種基板測試設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610004799.0
• 申請日: 2016-01-04
• 公開（公告）號: CN105486239B
• 公開（公告）日: 2018-07-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 謝少華;劉祖宏;訾玉寶;侯智;葉成枝
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;合肥京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02
• 代理公司: 北京同達(dá)信恒知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

1.一種基板測試設(shè)備，其特征在于，包括：

用于承載基板的支撐平臺；

用于采集基板上待測線寬圖形位置信息的對位裝置；

朝向支撐平臺設(shè)置的光強(qiáng)檢測裝置；

控制裝置，分別與對位裝置和光強(qiáng)檢測裝置信號連接，用于根據(jù)待測線寬圖形位置信息，控制光強(qiáng)檢測裝置移動經(jīng)過待測線寬圖形的上方；根據(jù)光強(qiáng)檢測裝置的檢測數(shù)據(jù)，確定光強(qiáng)檢測裝置經(jīng)過待測線寬圖形的時間；根據(jù)所述經(jīng)過待測線寬圖形的時間，確定待測線寬圖形的線寬；

所述基板測試設(shè)備還包括位于支撐平臺上的參照基板，所述參照基板具有標(biāo)準(zhǔn)線寬圖形；

所述控制裝置，具體用于根據(jù)以下公式，確定待測圖形的線寬：

T/L＝t/x

其中，T為光強(qiáng)檢測裝置經(jīng)過標(biāo)準(zhǔn)線寬圖形的時間，L為標(biāo)準(zhǔn)線寬圖形的標(biāo)準(zhǔn)線寬，t為光強(qiáng)檢測裝置經(jīng)過待測線寬圖形的時間，x為待測線寬圖形的線寬。

2.如權(quán)利要求1所述的基板測試設(shè)備，其特征在于，所述對位裝置包括沿第一方向設(shè)置的導(dǎo)軌、沿第二方向設(shè)置并可沿所述導(dǎo)軌移動的驅(qū)動桿以及可沿驅(qū)動桿移動的對位鏡頭。

3.如權(quán)利要求2所述的基板測試設(shè)備，其特征在于，所述光強(qiáng)檢測裝置滑動裝配于所述驅(qū)動桿。

4.如權(quán)利要求1所述的基板測試設(shè)備，其特征在于，所述控制裝置，具體用于根據(jù)光強(qiáng)檢測裝置經(jīng)過待測線寬圖形的時間，以及存儲的光強(qiáng)檢測裝置經(jīng)過標(biāo)準(zhǔn)線寬圖形的時間，確定待測線寬圖形的線寬。

5.如權(quán)利要求1所述的基板測試設(shè)備，其特征在于，所述光強(qiáng)檢測裝置包括光發(fā)射裝置以及光接收裝置。

6.如權(quán)利要求5所述的基板測試設(shè)備，其特征在于，所述光發(fā)射裝置為紅外光發(fā)射裝置。

7.如權(quán)利要求5或6所述的基板測試設(shè)備，其特征在于，所述光發(fā)射裝置發(fā)射的光線與豎直方向成銳角。