[發明專利]一種光學芯片的集成結構

有效

• 申請號: 201610004551.4
• 申請日: 2016-01-04
• 公開（公告）號: CN105514098B
• 公開（公告）日: 2018-01-19
• 發明（設計）人: 鄭國光;方華斌;孫艷美
• 申請（專利權）人: 歌爾股份有限公司
• 主分類號: H01L25/16
• 分類號: H01L25/16;H01L23/488;H01L23/31
• 代理公司: 北京博雅睿泉專利代理事務所(特殊普通合伙)11442
• 代理人: 王昭智,馬佑平

1.一種光學芯片的集成結構，其特征在于：包括基板(11)、具有光學區域(12a)的光學傳感器(12)，所述光學傳感器(12)安裝在基板(11)上；還包括LED芯片，所述LED芯片包括設置在光學傳感器(12)上的襯底(1)，所述襯底(1)具有位于不同平面內的第一表面(5)、第二表面(6)，以及從第一表面(5)邊緣傾斜延伸至第二表面(6)上的多個傾斜面(7)；在所述該多個傾斜面(7)上設置有作為LED芯片發光區的功能層(9)；在所述襯底(1)上還設置有貫通至光學傳感器(12)光學區域(12a)的通孔(10)；還包括至少將LED芯片功能層(9)以及光學傳感器(12)光學區域(12a)塑封起來的透光塑封體(13)。

2.根據權利要求1所述的集成結構，其特征在于：所述第一表面(5)為圓形，所述多個傾斜面(7)從第一表面(5)的圓周邊緣延伸至第二表面(6)上；所述第一表面(5)、傾斜面(7)、第二表面(6)圍成了圓臺結構；所述貫通光學傳感器(12)光學區域(12a)的通孔(10)位于圓臺結構的中部。

3.根據權利要求1所述的集成結構，其特征在于：所述第一表面(5)為矩形，所述傾斜面(7)設置有四個，分別從第一表面(5)的四周邊緣延伸至第二表面(6)上；所述第一表面(5)、傾斜面(7)、第二表面(6)圍成了四棱臺結構，所述位于傾斜面(7)上功能層(9)發出的光信號朝向四棱臺結構的外側方向傳輸；所述貫通光學傳感器(12)光學區域(12a)的通孔(10)位于四棱臺結構的中部。

4.根據權利要求3所述的集成結構，其特征在于：還設有反射部，所述反射部被配置為：將四棱臺結構其中一側功能層(9)發射過來的光信號朝四棱臺結構的相對側方向反射。

5.根據權利要求1所述的集成結構，其特征在于：所述傾斜面(7)設置有四個，分別從第一表面(5)的邊緣延伸至第二表面(6)上，所述第一表面(5)、傾斜面(7)、第二表面(6)圍成了一與倒立的四棱臺形狀匹配的梯形槽結構；所述位于傾斜面(7)上功能層(9)發出的光信號朝向梯形槽結構的內側方向傳輸；所述貫通光學傳感器(12)光學區域(12a)的通孔(10)位于梯形槽結構的中部。

6.根據權利要求5所述的集成結構，其特征在于：還設有反射部，所述反射部被配置為：將梯形槽結構其中一側功能層(9)傳輸過來的光信號朝梯形槽結構的相對側方向反射。

7.根據權利要求5所述的集成結構，其特征在于：所述襯底(1)上位于傾斜面(7)與通孔(10)之間的位置還設有遮光部(14)。

8.根據權利要求3至7任一項所述的集成結構，其特征在于：所述襯底(1)為具有<100>晶向的單晶硅材料，所述傾斜面(7)通過單晶硅的各向異性腐蝕得到。

9.根據權利要求1至7任一項所述的集成結構，其特征在于：所述設置在多個傾斜面(7)上的多個功能層(9)彼此隔絕開。

10.根據權利要求9所述的集成結構，其特征在于：所述功能層(9)從傾斜面(7)延伸到至少部分第一表面(5)、第二表面(6)上；在所述第一表面(5)或第二表面(6)的位置設有導通功能層(9)的焊盤(8)。