[發(fā)明專利]一種裝置及該裝置的使用方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610004251.6
• 申請日: 2016-01-04
• 公開（公告）號: CN105624650B
• 公開（公告）日: 2018-11-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王海濤;田牛;孫文園;高聳
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;合肥京東方光電科技有限公司
• 主分類號: C23C16/52
• 分類號: C23C16/52;C23C16/455
• 代理公司: 北京同達(dá)信恒知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

本發(fā)明公開了一種裝置及該裝置的使用方法，用以降低對基板線路維修時失敗的幾率，提高基板的品質(zhì)。所述裝置包括粉末儲藏罐和氣體腔體，所述粉末儲藏罐設(shè)置出氣管道，所述出氣管道與所述氣體腔體連接，其中，還包括監(jiān)控裝置、第一開關(guān)和第二開關(guān)，監(jiān)控裝置設(shè)置在粉末儲藏罐和氣體腔體之間，與出氣管道連通，用于在監(jiān)控裝置與氣體腔體之間的氣路處于關(guān)閉狀態(tài)時，監(jiān)控出氣管道中單位體積內(nèi)粉末的含量；第一開關(guān)設(shè)置在監(jiān)控裝置與出氣管道之間，第二開關(guān)設(shè)置在監(jiān)控裝置與氣體腔體之間。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種裝置及該裝置的使用方法。

背景技術(shù)

化學(xué)氣相沉積(Chemical Vapor Deposition，CVD)維修(Repair)設(shè)備是薄膜晶體管液晶顯示器(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display，TFT-LCD)面板領(lǐng)域在陣列段主要的維修設(shè)備，對陣列基板的線不良和點不良進(jìn)行查看、判級和維修。其原理是通過激光的熱效應(yīng)和光效應(yīng)，沉積鎢粉對導(dǎo)電金屬線進(jìn)行連接，維修斷路(Open)類不良。CVD維修設(shè)備也可以對基板上導(dǎo)電薄膜的金屬殘留物進(jìn)行切割，切割后可以沉積鎢粉對導(dǎo)電金屬線進(jìn)行跨接，維修殘留(Remain)類不良，提高產(chǎn)品的良率。

如圖1所示，現(xiàn)有技術(shù)的CVD維修設(shè)備包括加熱的鎢粉儲藏罐、與鎢粉儲藏罐連接的氬氣(Ar)的進(jìn)氣管道11，以及加熱管道12、與加熱管道12連接的氣體腔體14、物鏡15、鏡筒透鏡16、分離器17、波長選擇器18和彎曲棱鏡19，該CVD維修設(shè)備可以對陣列基板13的線不良和點不良進(jìn)行查看、判級和維修。

現(xiàn)有技術(shù)采用該CVD維修設(shè)備對陣列基板進(jìn)行維修時，存在以下問題：

第一、CVD維修設(shè)備中的鎢粉儲藏罐的進(jìn)氣口和出氣口為圓柱形；進(jìn)氣口為圓柱形的設(shè)計吹氣方向單一，局部氣流量較大，會導(dǎo)致出氣口鎢粉堆積，另外也會導(dǎo)致部分區(qū)域無法吹到，形成飽和鎢蒸氣，引起的鎢粉結(jié)晶和堆積；以上均會引起氣體腔體內(nèi)鎢粉含量降低，鎢粉沉積薄膜變薄。在背光不透光情況下，無法知悉維修狀況，即若鎢粉沉積薄膜后，背光的光會穿透該薄膜，則說明維修失敗，若背光的光不穿透該薄膜，還需要保證該薄膜的厚度在不透光的情況下不能太薄，而在這種情況下，由于鎢粉沉積薄膜變薄，則會導(dǎo)致維修失敗逐漸增加；

第二、鎢粉在使用過程中，目前只是記錄設(shè)備的運行時間作為鎢粉使用時間，而在設(shè)備運行過程中，多數(shù)時間鎢粉并沒在使用，而且每臺設(shè)備鎢粉消耗也不同，因此記錄不準(zhǔn)確，按照運行時間更換鎢粉，大大降低了鎢粉使用率，造成鎢粉的浪費；

第三、在設(shè)備保養(yǎng)或異常停電過程中，鎢粉管道或其它位置阻塞以及鎢粉使用末期，反應(yīng)氣體中鎢粉含量會降低，無法監(jiān)控；另外，目前鎢粉儲藏罐的設(shè)計，即使發(fā)現(xiàn)沉積的薄膜明顯變薄，且透光，采取的手段僅僅是更換鎢粉，方法單一，不能充分確認(rèn)鎢粉狀況，導(dǎo)致鎢粉的浪費，影響設(shè)備嫁動。

綜上所述，現(xiàn)有技術(shù)采用CVD維修設(shè)備對陣列基板進(jìn)行維修時，鎢粉在使用異常時，如：使用耗盡、管道堵塞、鎢粉結(jié)晶等，鎢粉無法被及時監(jiān)控到，因此導(dǎo)致鎢粉沉積的薄膜質(zhì)量下降，維修失敗率上升；另外，在鎢粉明顯發(fā)生異常下，無法進(jìn)行有效的調(diào)整，只能從更換鎢粉方面入手，方法單一且影響設(shè)備嫁動，影響產(chǎn)能。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實施例提供了一種裝置及該裝置的使用方法，用以降低對基板線路維修時失敗的幾率，提高基板的品質(zhì)。

本發(fā)明實施例提供的一種裝置，包括粉末儲藏罐和氣體腔體，所述粉末儲藏罐設(shè)置有出氣管道，所述出氣管道與所述氣體腔體連接，其中，還包括監(jiān)控裝置、第一開關(guān)和第二開關(guān)，

所述第一開關(guān)設(shè)置在所述監(jiān)控裝置與所述出氣管道之間，所述第二開關(guān)設(shè)置在所述監(jiān)控裝置與所述氣體腔體之間；

所述監(jiān)控裝置設(shè)置在所述粉末儲藏罐和所述氣體腔體之間，與所述出氣管道連通，用于在所述第二開關(guān)關(guān)閉，所述第一開關(guān)打開時，監(jiān)控所述出氣管道中單位體積內(nèi)粉末的含量。