[發明專利]基板緩存裝置

有效

• 申請號: 201610003302.3
• 申請日: 2016-01-04
• 公開（公告）號: CN105600446B
• 公開（公告）日: 2017-11-03
• 發明（設計）人: 朱海燕;陸建紅
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06
• 代理公司: 深圳市德力知識產權代理事務所44265
• 代理人: 林才桂

1.一種基板緩存裝置，其特征在于，包括箱體(10)、位于箱體(10)內的上承載臺(20)、位于箱體(10)內且位于上承載臺(20)下方的下承載臺(30)、及固定于所述箱體(10)上且位于所述上、下承載臺(20、30)之間的隔板(40)；

所述箱體(10)的前后分別設有開口部(100)，所述箱體(10)包括上壁(11)、下壁(12)、左側壁(13)及右側壁(14)；

所述上、下承載臺(20、30)下方分別設置有第一、二旋轉軸(50、60)，所述上、下承載臺(20、30)可分別繞所述第一、二旋轉軸(50、60)于水平面內在所述箱體(10)內部獨立旋轉；

所述基板緩存裝置放置于機臺的機械手附近，可通過機械手將機臺中的基板經由面向該機臺的開口部(100)放置到基板緩存裝置的上、下承載臺(20、30)上；或通過機臺的機械手將已放置到上、下承載臺(20、30)上的基板取出放回該機臺中；或將基板放置到基板緩存裝置的上、下承載臺(20、30)上之后，使所述上、下承載臺(20、30)水平旋轉180°，再通過相鄰另一機臺的機械手經由面向該另一機臺的開口部(100)將基板轉移；

所述上、下承載臺(20、30)上設有數條相互平行且貫穿所述上、下承載臺(20、30)前后端面的第一凹槽(210)，所述第一凹槽(210)兩側的凸臺上設有第二凹槽(220)，所述第二凹槽(220)內設有數個頂針(221)；

所述第一凹槽(210)對應機械手的機械手臂設置，使用機械手將基板放置于所述上、下承載臺(20、30)上時，首先使上、下承載臺(20、30)的前后端面分別朝向開口部(100)，使機械手臂伸入所述第一凹槽(210)內，機械手上的基板被凸臺或凸臺的第二凹槽(220)內的頂針(221)所支撐，然后使機械手臂從第一凹槽(210)內抽出，從而將基板放置于所述上、下承載臺(20、30)上。

2.如權利要求1所述的基板緩存裝置，其特征在于，所述頂針(221)具有真空吸附作用。

3.如權利要求1所述的基板緩存裝置，其特征在于，所述箱體(10)的左側壁(13)及右側壁(14)上設置有可視窗口(101)。

4.如權利要求1所述的基板緩存裝置，其特征在于，所述箱體(10)的上壁(11)上安裝有數個風機濾器單元。

5.如權利要求1所述的基板緩存裝置，其特征在于，所述隔板(40)劃分為中心區域和位于中心區域四周的邊緣區域，所述隔板(40)的邊緣區域上具有數個第一通風孔(401)；所述隔板(40)的中心區域為實板。

6.如權利要求5所述的基板緩存裝置，其特征在于，所述下壁(12)上均勻分布有數個第二通風孔(402)。

7.如權利要求1所述的基板緩存裝置，其特征在于，所述上承載臺(20)和下承載臺(30)包括四條第一凹槽(210)和分別位于所述四條第一凹槽(210)兩側的五條凸臺上的五條第二凹槽(220)。