[發明專利]用于圖案化層沉積的系統、方法及計算機可讀介質

有效

• 申請號: 201580083627.0
• 申請日: 2015-10-20
• 公開（公告）號: CN108349155B
• 公開（公告）日: 2021-07-09
• 發明（設計）人: 大衛·H·奧克斯;約書亞·M·尤;杰弗里·A·涅爾森;肯尼思·華德;克里斯蒂·杜登霍弗
• 申請（專利權）人: 惠普發展公司;有限責任合伙企業
• 主分類號: B29C64/112
• 分類號: B29C64/112;B29C64/386;B33Y10/00;B33Y30/00;B33Y50/00
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司 11018
• 代理人: 劉釗;周艷玲

1.一種用于圖案化層沉積的系統，包括：

均包含流體類型的多個流體分配器；以及

聯接到控制界面的處理器，所述控制界面聯接所述多個流體分配器，

其中所述控制界面生成相互作用以生成視覺響應的一組層，

其中所述處理器用于通過所述一組層中的協議指定的特定順序將流體類型沉積到具有板原點和在幾何圖形布局中的第一組部位的板表面，每一層包括：

順序；

流體類型和量；和

具有點的圖案的第二組部位的布局，點的圖案與流體類型和量被沉積的所述板原點對齊，并且

其中所述一組層中的至少一個層包括具有限定所述第一組部位的幾何圖形布局的所述第二組部位的布局。

2.根據權利要求1所述的系統，其中每個點的圖案關于在相應部位中的相應點的圖案的中心和角點中的一個與所述板表面的板原點對齊。

3.根據權利要求1所述的系統，其中至少一個點的圖案重疊在另一部位處的至少另一點的圖案。

4.根據權利要求1所述的系統，其中至少一個層中的流體量以橫過布局內的點的圖案或點的圖案的部位的位置的梯度流體密度變化。

5.一種非暫態計算機可讀介質，包括在由處理器讀取時使得所述處理器執行操作的指令，用于：

使用用戶界面生成一組圖案化層，所述一組圖案化層相互作用以生成視覺響應；以及

根據協議通過沉積將在所述一組圖案化層中指定的一組流體類型以特定順序應用到具有第一組部位的幾何圖形布局的板表面；

其中每個圖案化層包括：

順序；

流體類型和量；

具有點的圖案的第二組部位的布局，點的圖案與流體類型將要被沉積的所述板表面的板原點對齊，并且

其中所述一組圖案化層中的至少一個層包括具有限定所述第一組部位的幾何圖形布局的所述第二組部位的布局。

6.根據權利要求5所述的計算機可讀介質，其中至少一個點的圖案重疊在另一部位處的至少另一點的圖案。

7.根據權利要求5所述的計算機可讀介質，其中對于至少一個圖案化層，流體類型和量包括以開始流體密度和結束流體密度限定的梯度流體密度，并且用于每個點的流體量以橫過布局內的相應圖案和相應圖案的部位的位置中的至少一個的梯度流體密度變化。

8.根據權利要求5所述的計算機可讀介質，其中所述板表面是井微型板，并且一組層中的一個限定所述第一組部位的幾何圖形，所述第一組部位的幾何圖形限定所述井微型板中的井。

9.根據權利要求5所述的計算機可讀介質，其中所述指令進一步使得所述處理器執行所述操作，用于：

使用一組靶標編輯至少一個布局以關于所述板表面的板原點放置部位的組；

編輯協議，該協議包括為一組圖案化層中的每個選擇流體類型和量、以及相應圖案；和

編輯至少一個相應圖案的形狀和尺寸。

10.利用流體分配器的圖案化層沉積的方法，包括：

向板表面應用第一流體類型和量作為具有帶有第一圖案的第一組部位的第一布局的第一層；以及

向所述板表面應用第二流體類型和量作為具有帶有第二圖案的第二組部位的第二布局的第二層，其中所述第一層和所述第二層相互作用以生成視覺響應，其中在相應的第一組部位和第二組部位處的所述第一圖案和所述第二圖案中的每個與所述板表面的板原點對齊，并且所述第一布局和所述第二布局中的至少一個在所述板表面上限定第三組部位的幾何圖形布局。

11.根據權利要求10所述的方法，其中所述第一流體類型和所述第二流體類型中的至少一個的量包括橫過所述第一組部位中的部位變化的梯度流體密度。